中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9409984 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体回路製造業界で使用される複雑なエッチングおよび成膜プロセスの幅広い包括的なソリューションです。この原子炉は、高用量率、さまざまなプロセスパラメータの精密な制御、および特殊ガスの使用、または蒸着、エッチング、洗浄のためのガスの組み合わせによって特徴付けられます。原子炉には閉じたチャンバーがあり、均一性と精密なエッチングを最大限に引き出す設計です。エッチング領域の温度、圧力、厚さ、表面品質を制御するために、酸素、窒素、アルゴンなどの様々なガスを利用しています。プロセスガスは、原子炉から直接貯蔵して分散することができ、最大10の統合ガスラインを持つシステムがあります。アルゴン酸素ミックスは、例えば、タングステンやアルミニウムフィルムをエッチングすることができます。クローズドチャンバー設計により、粒子沈着と汚染を大幅に低減します。これは、発生する汚染が製品の均一性と歩留まりに悪影響を及ぼすため、他の設計に比べて大きな利点です。Human Machine Interface （HMI）は、プロセス相互作用を簡素化し、より高度なエッチングシステムでは使用できないレベルの制御と精度を追加する大型タッチスクリーンを備えています。AMAT CENTURAリアクターは、洗練された制御に加えて、センサー、サイクラー、コントローラの組み合わせも備えています。これにより、エッチングまたは蒸着にさまざまなガスの組み合わせを使用し、プロセス変数を正確に制御することができます。洗練された材料分析システム（MAS）は、迅速かつ信頼性の高い診断を可能にします。これはリアルタイムで実行され、即座に特性評価を行うことができ、それに応じてプロセスを調整することができます。また、MASにはウエハマッピング機能が内蔵されており、機能の幅だけでなく、サイドウォール角度も測定できます。最後に、APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体製造業界のエッチング部品に強力で汎用性の高い高精度なシステムを提供します。システムの感度は、さまざまなパラメータを正確に制御することができ、それによって一貫して高品質の製品を保証します。この原子炉はまた、革新的で洗練されたHMIを備えており、製品の適用と特性評価の両方を簡素化します。最後に、センサー、サイクラー、コントローラを組み合わせることで、直感的で一貫性のあるプロセスを実現し、歩留まりと製品品質の安定性を確保します。