中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9390091 を販売中
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販売された
ID: 9390091
Etcher
(2) DPS II Chambers
AXIOM Chamber
KAWASAKI 3NX540B-A303 Robot
Controller
MISC
Missing parts:
VHP Robot and driver
Rapid OE of AXIOM.
AMATとAMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、高度な半導体および太陽電池デバイス製造に使用される高度なツールです。この原子炉は、クリーンルーム環境でシリコンベースのデバイスを大量に生産するためによく使用される化学および物理蒸着(CVD/PVD)システムです。アプライドマテリアルズとAMAT CENTURAシステムは、優れた品質と高スループット能力により、太陽電池やその他の高度なオプトエレクトロニクスの製造に最適です。AMAT/APPLIED MATERIALTS and APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉には、高度な化学および物理蒸着チャンバーが装備されており、高度に制御され、密接に監視された環境で基板上に高品質のフィルムを生成することができます。原子炉は複数の小径チューブで構成されており、それぞれ異なる前駆体を含む。チューブは熱またはプラズマ環境を生成するために加熱され、前駆体の分子が分解し、反応し、再結合して制御された均一なフィルムを基板に堆積させることができます。フィルムの厚さと組成は、所定の仕様に基づいて監視および調整されます。リアクターは、基板の電気的および光学的特性を変更するアニーリングプロセスにも使用できます。さらに、フーリエ変換赤外分光法(FTIR)、残留ガス分析法(RGA)、レーザー誘導蛍光法(LIF)、質量分析法(mass spectrometry)などの様々な手法を用いて、蒸着プロセスを高精度に監視することができるin-situ真空診断機能を備えています。この診断機能により、フィルムの成長とプロセス性能を継続的に監視することができ、高い歩留まりと優れたデバイス信頼性をもたらします。AMATおよびCENTURA原子炉は高度なプロセス機能を提供し、高度な安全機能を備えています。リアクターはモジュール式で高効率であるため、実験室や産業用の用途に適しています。この原子炉は、様々な厚さの基板やフィルムを扱うことができるため、商業用大型機器の製造にも最適です。さらに、これらのデバイスは自律的に動作し、連続的で自動化されたバッチ生産を可能にします。全体として、APPLIED MATERIALTSとAMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURA原子炉は、堅牢な設計、高精度の監視機能、および高度な安全機能により、半導体および太陽電池デバイスの生産において好ましい選択肢です。この原子炉は、均一な厚さと組成のクリーンルーム環境で高品質のフィルムを生産することができ、信頼性の高い高品質のデバイスの生産を可能にします。
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