中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9389470 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、高性能でフルサイズの半導体加工装置です。最適化された熱制御を提供し、半導体製造に必要なエッチング、成膜、その他の処理手順を実行するように設計されています。AMAT CENTURAは、複数のウェーハ負荷を保持できるチャンバーと、それぞれ最大4つのウェーハを含むロードロックを備えています。高精度イオン源、プラズマ源、自動ウェハ搬送機構を搭載しています。このシステムはまた、チャンバー圧力、温度、ガス流量、イオン源の電力および周波数設定など、包括的なプロセス制御オプションを提供します。APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、最大100％の電力をオンデマンドで供給できる65W電源を搭載しています。このユニットには、温度制御モジュールと複数のヒーターが装備されているため、加工チャンバーの高精度で迅速なサーマルサイクルが可能です。チャンバーはステンレス製で、テフロン半導体ガス安全シールドに囲まれています。クリーン性とパーティクル制御を最大限に高めるために、このマシンは自動化された高性能エッジ溶接パージおよびリーク監視システムも備えています。CENTURAリアクターは、酸化物エッチングと蒸着、窒化エッチングと蒸着、CVD、 PVD、 PECVD、フロントサイドエッチングなどの高度な蒸着プロセスなど、さまざまなプロセス工程を実行できます。高度なプロセス制御ソフトウェアにより、ユーザーはプロセスパラメータとガスの流れを正確に定義し、チャンバーの圧力を監視し、チャンバーのクールダウン時間を管理することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、あらゆる半導体製造設備に貴重な付加物であり、高い性能と精度を提供するツールの機能を提供します。そのプロセスステップの範囲、高度なプロセス制御と高温は、最高品質の結果を提供し、パフォーマンスと出力品質を向上させます。