中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9384520 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、科学研究および工業志向のアプリケーションで使用するために設計された中規模の蒸着ツールです。半導体やポリマーなどの薄膜材料の成長からエッチング、ドーピングまで、幅広い技術用途に適した高性能で効率的で信頼性の高いツールです。一般に、AMAT CENTURA原子炉は、ガス供給用のチャンバー、ソース、基板ホルダーの3つの主要な部品で構成されています。ガス供給室には、化学物質（酸化物、ハロゲン化物、水素化物など）、不活性ガス、ドーパントなどのガス源が収容されています。ソースまたはターゲットは、それぞれの反応または蒸着タイプに応じて、材料またはエネルギーのビームを生成します。このビームは、基板の位置を正確に制御できるように設計されている基板ホルダーに配置された基板に向けられます。この材料とエネルギーの生成および誘導輸送は、ガスレギュレータやシャッター、ビームライン素子、光子電源などのさまざまなコンポーネントによって規制されています。APPLIED MATERIALS CENTURAの様々な構造部品（チャンバー、ソース、基板ホルダーを含む）は、強力なコンピュータ化されたコンソールを介して接続および調整されます。このコンソールは、蒸着プロセスの精密かつ複雑な制御を可能にし、平均ウェーハ厚の均一性+/-0。1ミクロンで優れた性能を提供します。さらに、このコンソールは非常にユーザーフレンドリーで、サンプルロードと遠隔操作を可能にし、レシピプログラミングやリアルタイムプロセス監視などの機能を備えており、信頼性が高く、確実に一貫して正確に実行できます。高品質で優れたグラファイト化と酸化抵抗を有する薄膜材料を製造することが可能であり、システムアーキテクチャの改善と効率的な電力制御により、エネルギー消費量を大幅に削減できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉の動作は簡単で信頼性が高く、優れた性能を提供します。優れた温度均一性と高い蒸着率により、幅広い薄膜蒸着プロセスに適したツールです。また、高効率で信頼性が高いため、あらゆる産業や研究用途に最適な、費用対効果の高い最高レベルの入金ツールです。