中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9358629 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 9358629
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2014
System, 12" 2014 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、幅広い材料とウェーハを処理するように設計された先進的な化学蒸着(CVD)炉です。高度な装置設計により、プロセス条件を正確に制御して大量のスループットで処理することができます。高度な制御システムにより、ウェーハは正確な温度と圧力で処理され、蒸着はウェーハ全体で均一で一貫しています。また、高純度ガスの安定した流れを提供する自己調整ガス供給ユニットを備えています。AMAT CENTURAのチャンバーは、フリーフォーム堆積物の有病率を低減するように特別に設計されており、副産物や汚染物質を排除し、プロセスの信頼性と再現性を向上させるように設計されています。また、強力なデュアルモード電源を備えており、RFおよびDC電源を使用して堆積速度を独自に制御できます。高度なプラズマ源は、堆積プロセスの速度と均一性を高めるためにも使用されます。APPLIED MATERIALTS CENTURAには、汚染の可能性を低減し、プロセス中に発生する可能性のある問題を最小限に抑えるように設計された完全に自動化された洗浄およびパージ機があります。また、ハイエンドのソースボートとカセットハウジングを備えており、最高の精度と制御を提供します。真空フランジツールはまた、負荷/アンロードが最小限の大騒ぎと混乱で行われることを保証します。組み込みの安全装置とアラームの配列は、その安全機能を強化します。CENTURAは、高精度で一貫性のある高いスループットで多種多様な材料を加工することができます。高度な制御資産と洗練されたチャンバー設計により、正確で信頼性の高いプロセス制御が可能です。自動クリーニング機能と洗練された安全機能により、安全で信頼性の高い効率的なウェーハ処理プラットフォームとなっています。
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