中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9312776 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、高度な加工用途向けに設計されたマルチチャンバーリアクターです。エピタキシー成長、エッチング、ドライエッチング、金属蒸着など、幅広い要求の厳しい作業に適しています。AMAT CENTURAは大量生産された機器で、信頼性が高く効率的です。この原子炉は、独立したソースチャンバー、プロセスチャンバー、およびロードロックチャンバーで構成されています。ウォームゾーンを備えたダイナミックなデザインで、幅広いプロセスに最適化されています。チャンバー制御および絶縁システムは、安全な動作を提供し、プロセス環境を保護します。応用材料CENTURAは、各プロセスチャンバーの温度を急速に変化させるために使用できる複数の加熱および冷却ゾーンを提供し、最適な熱安定性を実現します。また、裏面ウェーハヒーターにより均一な温度を実現し、ホットスポットなどの信頼性の問題を防止します。CENTURAはチャンバー内の圧力を制御することも可能です。それは連続的な流れの主義および自己補償の圧力制御システムを使用します。これにより、プロセス環境が安定しており、エッチング処理が均一であることが保証されます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターには、均一性を確保し、プロセス性能を向上させるためのいくつかのプロセス制御ツールもあります。これらのツールを使用すると、ユーザーはガスの流れを監視し、基板温度を制御し、圧力値を調整することができます。さらに、統合された自動ウェーハハンドリングシステムにより、ユーザーはチャンバ間でウェーハを迅速かつ便利に転送することができます。さらに、AMAT CENTURAリアクターには、堅牢な安全およびメンテナンスユニットが装備されています。このマシンには、自動過負荷保護、センサー制御操作、エンドオブラン診断、予測メンテナンスツールなどの機能が含まれています。これにより、ユーザーは自分の原子炉が常にピーク性能で動作していることを確認し、プロセス結果が指定されていることを保証することができます。全体的に、APPLIED MATERIALS CENTURAは、複雑で高スループットプロセス用途向けに設計された信頼性の高い効率的な原子炉です。さまざまなプロセスを簡単に管理するための多数のプロセス制御ツールと自動ウェーハハンドリングシステムを提供しています。さらに、その堅牢な安全性とメンテナンス資産は、原子炉が効率的に実行され、信頼できるプロセス結果が得られるという信頼性をユーザーに提供します。