中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9293686 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、高周波、交流（AC）、強烈な熱化されたH2プラズマのユニークな組み合わせを利用した高密度プラズマ（HDP）原子炉で、信頼性の高い高性能ウェハを作成します。AMAT CENTURA HDPリアクターは、大面積マルチウェハサポートプラットフォームと高温セラミック加熱システムの組み合わせを使用して、超狭い臨界寸法を達成し、高度な材料を同時に蒸着できるプロセスウィンドウを作成します。この原子炉は、迅速なプロセス最適化のための急速な熱循環を備えており、調節可能なガス流量能力と高度なプロセス監視を備えています。応用材料CENTURAリアクターはまた、サンプルへの収差を最小限に抑えるために真空チャンバー加熱を備えています。このリアクターは、最大300mmのウェーハサイズに対応できる独自のマルチウェーハロックゾーンを備えており、複数のウェーハを1つのバッチでロードおよびアンロードすることができます。さらに、特殊な静電チャックとアクティブスタビライゼーションにより、比類のない均一性を提供し、最小の工程オーバーヘッドで歩留まりを最大化します。CENTURAリアクターは、所望のプラズマプロセスをタイミングとエッチングに適用する柔軟性を備えています。これにより、さまざまなガスミックス、圧力、およびRFパワーレベルの特定のレシピを使用して、多様な構造を作り出すことができます。また、効果的なエッチング深度、高い異方性、および低い表面粗さを提供します。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAのエンジンは、シリコン材料と化合物半導体材料の両方のプラズマ強化化学蒸着（PECVD）およびエッチプロセスの両方に適したAC結合誘導結合プラズマ（ICP）源です。AMAT CENTURAリアクターのICPソースは、非常に高密度のプラズマを提供し、4インチと12インチのウェーハ量にわたって各ウェーハに良好な均一性を提供するために調整することもできます。アプライドマテリアルズCENTURAリアクターは、ウェーハからウェーハへの非均一性を最小限に抑え、プロセスデータ、スループット、収益性を最大化する独自のマルチウェーファーロックゾーンを利用しています。また、チャンバアクセス機能を自動化し、動作中にチャンバを開く必要がなくなり、プロセスパラメータが安定した状態に保たれます。また、CENTURAリアクタの独自のマルチウェーハサポートプラットフォームは、ウェーハ面積と均一性に最適化されており、歩留まりとスループットが著しく向上しています。結論として、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、要求の厳しいエッチング、蒸着、プロセス最適化に最適なソリューションです。AMAT CENTURAリアクターは、高性能機能と高度な機能を備え、幅広い用途に超高速な処理を提供します。幅広いプロセススケーラビリティ、使いやすいレシピ、高密度プラズマを備えたAPPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、極端なプロセス課題に対処するための究極のツールです。