中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9282471 を販売中

ID: 9282471
System (5) AMAT Enabler (3) Chamber Enabler (1) Generator rack (1) EFEM with YASKAWA Robot VHP Robot TDK Loadport.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、さまざまな高度なプロセス用に設計された汎用性の高い原子炉です。高度な石英粉末形状を備えているため、高温プロセスや超平面形状に最適です。また、低コスト、低メンテナンス、および高い信頼性を提供します。Enablerは、低温酸化物の成長や銅エッチングなどの高機能で複雑性の高いプロセスの要求に応えるために、さまざまな機能を備えて設計されています。また、真空蒸着、電気化学、熱酸化、エッチング、金属蒸着、薄膜蒸着プロセスなどの高度な機能を備えています。Enablerは、単一のチャンバーを最大限に活用するように設計されています。フットプリントが小さく、運用コストが低い。Enablerは、最も反復可能な結果で高品質の機能を作成することができます。例えば、薄膜プロセスにEnablerを使用する場合、最大37nmの幅を持ち、線幅制御と臨界寸法忠実度の両方を備えた構造を作成することが可能です。イネーブラは、超高スループットと低温プロセスも提供します。その設計は、並列プロセスのための高精度とマルチチャンバーアクセスを兼ね備えています。これにより、より大きな表面や複雑な構造を作成することができます。これは、最大270 nm/minの速度で堆積できる誘電体などのウェハレベルのプロセスに特に役立ちます。また、Enablerはプロセス制御を統合しており、高いプロセス資産使用率を実現しています。また、ユーザーフレンドリーなソフトウェア制御を提供し、プロセスパラメータをシームレスに統合できます。これにより、ソフトウェアの一貫した動作が保証され、ギャップ制御と基板の均一性が可能になります。Enablerは高性能で、さまざまな高度なプロセスに最適です。その設計と機能は、確立されたプロセスと新しい研究や開発の両方に最適です。その機能は、低コスト、低メンテナンス、および高い信頼性と組み合わされて、あらゆるアプリケーションに最適です。
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