中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9245641 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、エピタキシャル技術を使用してナノ構造を構築するためのツールです。それは多目的で、適用範囲が広く、有効な半導体製造装置です。3つのチャンバーを持ち、13。56MHzのRFソースを使用して基板にエネルギーを供給し、高精度の蒸着とエッチングを可能にします。AMAT CENTURAリアクターの主要なチャンバーは、基板堆積システムです。このユニットは、デバイス材料を基板に堆積させるために使用され、水晶圧力バランスの取れた高解像度ステッピングモータで制御されます。このマシンは、スパッタリング、DCマグネトロンスパッタリング、トーチスパッタリング、およびプラズマ強化化学蒸着（PECVD）などのさまざまなプロセスのために調整することができます。このツールは、さまざまなサイズの複数の基板を同時に処理することもできます。APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターの2番目のチャンバーはエピタキシャルアセットです。このチャンバーは基板にバイアスを配置するためのRFバイアスを備えており、電子銃を使用して所望のナノ構造を直接書き込むことができます。このモデルはまた、非常に高い精度と高速で所望のナノ構造をエッチングすることができます。このチャンバーはまた、デバイスをアニールすることができます、デバイス材料を安定化するために必要なステップ。CENTURAリアクターの最後のチャンバーは、光学顕微鏡、原子力顕微鏡（AFM）、走査型電子顕微鏡（SEM）、楕円計などの計測ツールを含む計測チャンバーです。これらのツールを使用することで、ナノ構造の高分解能イメージングとその特性の運動解析が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、ナノ構造物を製造するための信頼性の高い高性能ツールです。このツールは、3つのチャンバーと微調整されたRFシステムを使用して、非常に高い精度と速度で最も複雑な設計のナノ構造を製造することができます。その汎用性と効率性は、任意のナノ構造の製造アプリケーションのための費用対効果の高い、信頼性と優れた選択肢になります。