中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9235032 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
ID: 9235032
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Etcher, 12" 2008 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、半導体製造プロセスのプロセス制御を統合できるように設計された原子炉です。この装置は、業界で最も先進的なウェーハ加工技術の生産を容易にするために、自動化された統合された環境を提供します。この原子炉は、主に薄膜パッシベーション層の調製に使用され、完成した半導体デバイスをさまざまな環境要因からコーティングおよび保護するために使用されます。これは、完成したデバイスの品質を監視、分析、および維持するために、他のプロセスツールと連携して動作する高度なシステムです。AMAT Centura Enablerは2つの主要コンポーネントで構成されています。1つ目はPECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)ユニットで、さまざまな環境要因からデバイスを保護するために必要な薄膜パッシベーション層の堆積を可能にします。このPECVD機械はプロセスに入る汚染物を防ぐために密封される真空の部屋で構成されます。このツールは、プラズマを作成するために無線周波数(RF)発電機を使用して、露出した表面と反応することができるイオンやラジカルにプロセスのガス分子を分解するのに役立ちます。2つ目のコンポーネントは、プロセス条件を監視および維持するために使用されるControl Moduleです。Control Moduleは、プロセス分析、調整、および処理パラメータの監視のすべてのオンザフライの責任を負います。また、実行中にプロセス環境設定を介入および変更してデバイス全体の信頼性を向上させる機能も提供します。APPLIED MATERIALTS Centura Enablerは、デバイスの最高品質と信頼性を確保するために必要なコンポーネントと機能を提供する、完全なウェーハ処理資産の不可欠な部分です。PECVDと制御モジュールを1つのユニットに組み合わせることで、Centura Enablerは最先端の半導体デバイスを処理するための信頼性の高い自動化された環境を提供します。
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