中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9227018 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURAは、高真空、化学/物理蒸着（CVD/PVD）原子炉です。このタイプのCVD/PVDリアクターは、マイクロエレクトロニクスやオプトエレクトロニクスなどの高性能アプリケーションによく使用されます。AMAT CENTURA原子炉の主要な構成要素には、プロセスチャンバー、真空ポンプ、蒸着源、ガスパネル、およびプロセス制御装置があります。プロセスチャンバーは原子炉の主成分であり、シール可能なチャンバーと、チャンバー内の大気を調節するために開閉できるドアシステムで構成されています。プロセスチャンバー内では、真空ポンプによって作成された真空環境に気体反応剤が導入されます。その後反応剤は、堆積源によって設定される1100°Cまでの高温にさらされます。蒸着源は、電子ビーム蒸発器、誘導結合プラズマ源、またはアプリケーションに応じて抵抗蒸発源とすることができます。APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターに設置されたガスパネルは、ユーザーが確立した特定のパラメータに従ってプロセスチャンバーに反応剤を導入する責任があります。また、使用されるガスの割合と割合を制御することもできます。さらに、ガスパネルにはセンサーとシャットオフバルブがあり、ユーザーは堆積混合物の各成分の流れと活性化を制御することができます。プロセス制御ユニットは、原子炉室のパラメータの制御と監視を担当します。プロセスコントロールマシンは、蒸着基板の蒸着速度と温度、およびチャンバー雰囲気の圧力を検出することができます。また、蒸着プロセスを最適化するために必要に応じて温度、作業雰囲気、およびその他の変数を調整するパラメータもあります。CENTURAリアクターは、数十年にわたってマイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス業界で広く使用されてきた強力なツールです。高真空、高度な蒸着源、強力なプロセス制御ツールにより、最先端の材料技術アプリケーションに必要な高度で複雑な微細構造を作成できます。