中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9218563 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA （AMAT CENTURA）リアクターは、大容量、高温エッチング、成膜、および表面エンジニアリング用途向けに設計された特殊加工チャンバーです。アプライドマテリアルズCENTURAリアクターは、高度なプラズマ技術を活用して、化学蒸着（CVD）、物理蒸着（PVD）、イオン注入など、さまざまなウェハ製造プロセスに使用できます。このオールインワンプロセスは、アプリケーションや複雑さに関係なく、すべてのファブリケーターにとって効率的で費用対効果の高いソリューションです。CENTURAリアクターは、電子サイクロトロン共鳴（ECR）誘導電界を利用した先端プラズマ技術です。このECRは、他の蒸着方法を超える最高温度のプラズマ条件を提供し、エポキシやガラスの硬化などの高いプロセス温度でのアプリケーションに最適です。ECRプラズマソースの高度な技術により、幅広いプロセス条件とパラメータを簡単に調整して最大のプロセス歩留まりとパフォーマンスを実現できます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉は、酸化物、窒化物、およびオキシニトリドを含む様々な材料を堆積するために使用することができます。また、高アスペクト比の構造を含むシリコン、酸化物、フォトレジストのエッチングにも使用できます。リアクター独自のカスタムチャンバー設計により、他のプラズマ加工方法よりも高速なエッチングと蒸着速度で、高スループット生産が可能です。AMAT CENTURAリアクターにはユニークなマルチゾーン重量積載システムも組み込まれており、ウェーハの積み下ろしに完全な柔軟性を提供します。このシステムは、さまざまなプロセスへのタイトな統合に最適であり、ウェーハのロードとアンロードにおけるスループット時間の増加を可能にします。電源は、超低ノイズレベルを提供し、プロセス実行中の変動から保護するように設計されています。アプライドマテリアルズCENTURAリアクターは、エッチング、成膜、および高温アプリケーションにおいて比類のない性能を提供する先進的なプラズマ処理ツールです。プロセス安定性に優れた温度制御を提供し、スループットを最大化するよう設計されています。優れた低ノイズ電源、優れたマルチゾーン重量負荷システム、および信頼性の高いECR誘導フィールドを備えたCENTURAリアクターは、すべてのプラズマ処理ニーズに最適です。