中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9207994 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURAシリーズのリアクタは、高度な金属相互接続の高いアスペクト比プラズマエッチング用に設計されており、高速スループットと最小限の熱露出を提供します。この装置は、5レベルのシャワーヘッドガスインジェクタを使用して、超低部分圧力と正確なタイミングを提供し、金属エッチング条件を最適化します。電気システムは、所望のフィルム特性を得るためにプロセス温度を正確に制御することができ、高速応答スロットリングで設計されています。このフレキシブルガス注入と電気ユニットを組み合わせたAMAT CENTURAシリーズは、高アスペクト比プラズマエッチングに最適です。APPLIED MATERIALTS CENTURA原子炉は、金属相互接続のための高度なプラズマエッチング機能を利用して、高度な半導体加工のために構築されています。エッチングプロセスに関しては、原子炉には高度な5レベルのシャワーヘッドガスインジェクタが装備されており、超低い部分的な圧力と正確なタイミングを可能にします。このマシンはまた、高速応答スロットリングで設計されており、最適なエッチング条件を提供しながら、プロセス温度を正確に制御します。また、高度なフィードバック制御ツールにより、高温性能に欠かせない急速な温度安定化を実現しています。CENTURAシリーズリアクターはまた、サブサイクルロックオンタイミング、プログラム可能な基板予熱、ガスプロファイルの最適化など、エッチング性能を最大化するように設計された幅広い機能を備えています。これらの特徴の組合せは優秀な均等性および反復可能性を提供し、高度のプロセスノードで良質プロダクトの生産を、可能にします。さらに、歪みのない壁と調整可能な基板ホルダーで設計されており、比類のない精度と柔軟性を提供します。また、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAシリーズは最高品質の部品で構成されており、信頼性の高い堅牢なモデルとなっています。これは、振動を最小限に抑えるように設計されており、優れた断熱性を提供する堅牢なステンレススチールフレームを備えています。また、先進的なサーマルサイクリング機能により、幅広い動作温度にわたって温度安定化を実現し、高アスペクト比エッチングのニーズに最適です。全体として、AMAT CENTURAシリーズは、金属相互接続をエッチングするための信頼性の高い先進的なツールです。超精密ガス注入、精密な温度制御、堅牢な構造を組み合わせることで、高性能で歩留まりの高いエッチングニーズに優れたプロセス精度を提供します。高度な半導体プロセス向けに設計された優れた機能セットにより、最新のプロセスノードと技術を活用した高品質な製品の生産が可能です。