中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9204753 を販売中

ID: 9204753
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2010
Etcher, 12" Process: Oxide (3) Poly chambers (1) Axiom chamber (1) EFEM with KAWASAKI Robot 2010 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、商業グレードの半導体生産を可能にするように設計された最先端の基板処理炉です。この高度なエッチングは、反応ビーム、物理蒸着(PVD)および化学蒸着(CVD)チャンバーを処理し、スループットの向上と歩留まりの向上を可能にします。AMAT Centura Enablerの革新的な設計には、さまざまなチャンバーサイズが含まれており、お客様は原子炉を自社の生産環境に適合させることができます。加えて、APPLIED MATERIALS Centura Enablerは物理的および環境的な安全性を念頭に置いて設計されています。MEI (Molecular Exclustion Ink)チャンバー設計は、イオンエッジによる精密な温度制御熱処理を提供し、均一性とプロセスの再現性を向上させます。安全性を高めるために、Centura Enablerにはガス流量制御システムが内蔵されており、チャンバー内のガス分布を正確に制御し、一貫した監視を行うことができます。チャンバーには真空システムが内蔵されており、すべてのコンポーネントがシールやガスケットなしで密閉されていることを確認します。さらに、チャンバーは背面拡散イオンを最小限に抑え、蒸着面の制御を改善し、均一性と歩留まりを向上させるように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerの効率的な熱管理システムにより、原子炉全体で一貫した温度が維持され、最適な処理条件が得られます。単壁の垂直設計により、原子炉の設置面積を削減し、床使用量を最大化します。AMAT Centura Enablerは人間工学に基づいた高さ調節可能なユーザーインターフェイスも備えており、リアクターの簡単な操作と制御を可能にします。APPLIED MATERIALTS Centura Enablerは、商用グレードの半導体製造に不可欠な部品です。それは部屋のサイズ、精密な温度管理された熱処理、ガス流れ制御、真空システム、改善された均等性およびプロセス反復性、改善された収量、有効な熱管理、単一の壁の縦の設計および人間工学的インターフェイスの広い選択を提供し、商業等級の生産が安全そして最適レベルで完了することを確かめます。
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