中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203459 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、太陽電池などの基板（表面）に薄い層の材料を堆積させるために設計された原子炉の一種です。これは、太陽電池の大規模な生産のために特別に設計された物理蒸着（PVD）原子炉です。AMAT CENTURAは、基板上に制御された材料の流れを提供するために一緒に動作するいくつかのコンポーネントで構成されています。主室は、内径数フィートの石英管で構成され、上下に密閉されています。この内部の部屋は高温に、通常950Cのまわりで加熱されます。メインチャンバーには、別の温度に別々に加熱される2つの追加のサイドチャンバーが取り付けられています。メインチャンバー内には、材料を堆積するために使用されるいくつかのガス入口とコンセントがあります。ガスインレットは通常、水素、フッ化水素、酸素などのガスを供給し、排出口は材料を堆積させた後に発生する廃ガスを排出するために使用されます。被覆される基板はアームに取り付けられ、チャンバーに移動してロボットの動き制御システムによって所望の位置に配置されます。材料が堆積する準備ができたら、基板にシリコンウェーハなどのターゲット材料を配置します。ターゲット材料が正しい位置にあると、それは2つのサイドチャンバーによって加熱され、ガス入口は堆積のためのガス混合物を供給し始めます。ガス混合物は、堆積物に所望の資質が存在することを保証するフィードバックシステムを使用して操作されます。この原子炉には、回転ターゲットを使用して均一なコーティングを作成するなど、堆積を制御するために使用できる他の多くのプロセスがあります。沈着が完了すると、アームはチャンバーから取り外され、基板を安全に取り外し、その上の材料の層を検査することができます。APPLIED MATERIALS CENTURAは、太陽電池やその他の技術の大規模な堆積のための堅牢で信頼性が高く、効率的なシステムです。