中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9203384 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、基板上にさまざまな材料の薄い層を作成するために使用される化学蒸着（CVD）原子炉の一種です。装置は、蒸着プロセス中にウェーハを所定の位置に保持するメインチャンバー、チャンバー壁、およびサセプターで構成されています。チャンバーには、原子炉内の圧力を監視する2つのセンサーが装備されています。原子炉はまた、材料の層を堆積するために使用されるシラン、リン、ホウ素三塩化ホウ素などの前駆体の範囲を収容することができます。AMAT CENTURAシステムは、完全なプロセス制御と監視を提供し、クリーンな環境を提供するように設計されています。チャンバー壁は窒化物の石英材料で作られており、処理中のガスの排出と拡散を低減するのに役立ち、一貫した高品質の完成層を確保するのに役立ちます。部屋の壁には上部と下部の両方に複数のバッフルがあり、内の理想的な環境を作成するのに役立つ窒素で満たされています。さらに、チャンバーの壁とドアには排気ユニットが装備されており、チャンバーへの連続的な空気の流れを確保し、最終層を汚す不純物や汚染物質を減らすことができます。サセプターは沈着の過程でも重要であり、通常、加熱された台座に取り付けられ、プロセス中の基板全体の均一な温度を維持するのに役立ちます。窒化チタンなどの犠牲層でコーティングされたウェーハは、ロボットアームを介してサセプターにロードされます。ロボットアームは、蒸着プロセス中にウェーハを配置し、プロセスが完了したらそれらを除去する責任もあります。APPLIED MATERIALTS CENTURAシステムは、金属、半導体、絶縁体、誘電体の薄膜を製造することができる、幅広い用途向けに設計されています。この機械は、ヒ素ガリウム、リン酸インジウム、酸化スズなどの材料を堆積することもできます。堆積プロセスは完全に囲まれており、堆積プロセス中に汚染物や不純物が導入されないようにします。最後に、このツールはユーザーフレンドリーなインターフェイスとさまざまな安全機能で設計されており、操作とメンテナンスが簡単です。