中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9189948 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、主に半導体産業で深紫外線やエッチングなどのリソグラフィープロセスに使用されるAMATが開発した高性能リアクターです。AMAT CENTURAプラットフォームは、生産性と効率を最大化するために設計されたマルチチャンバー、マルチゾーン構成に基づいています。高温石英エッチング、高圧真空蒸着、高周波プラズマ蒸着システムを搭載しています。APPLIED MATERIALS CENTURA装置の複数チャンバ設計により、シングルチャンバーシステムと比較してプロセス性能が向上します。これは、複数のチャンバ設計で可能な温度、圧力、均一性の向上によるものです。また、複数のチャンバ設計により、ガススループットが向上し、より高いスループット率が得られ、プロセスの均一性も向上します。CENTURAシステムは、最大4つの別々のプロセスチャンバーを管理できます。これにより、スループットと機能が向上し、個別のチャンバを使用してさまざまなプロセスを同時に実行できます。各チャンバーには、温度、圧力、蒸着速度などのさまざまなプロセスパラメータ用の独立したコントローラが装備されています。温度精度のために設計されており、エッチングおよび蒸着ステップを正確に制御できます。また、プラズマ強化化学蒸着や原子層蒸着といった真空蒸着技術も搭載しており、より複雑な構造を作り出すことができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、サイクルタイムを短縮し、均一性を向上させる高周波プラズマ蒸着も特徴です。この高周波プラズマはホウ素に対する耐性が高く、サイクル時間を短縮するだけでなく、高k誘電体の堆積をはるかに容易にするために使用することができます。また、ガスボックス、アクティブエグゾースト、圧電センサーなどの安全メカニズムも備えており、さまざまなプロセスパラメータを監視します。これにより、ツールは安全に使用でき、プロセスは可能な限り最高の安全基準に準拠します。このアセットは、汚染を最小限に抑え、効率を最大限に高めるように設計されており、ユーザーインターフェイスにより、さまざまなパラメータを簡単に監視および調整できます。結論として、AMAT CENTURAは複数のチャンバーとゾーンを備えた強力で効率的な原子炉モデルであり、温度、圧力、均一性の測定を改善しながら生産性と効率を向上させます。APPLIED MATERIALTS CENTURAプラットフォームは、4つの別々のチャンバーを管理することができ、真空蒸着、高周波プラズマ蒸着、および製造された部品の安全性と品質を確保するための安全メカニズムが装備されています。これにより、高精度なリソグラフィープロセスに最適なツールです。