中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9187474 を販売中
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販売された
ID: 9187474
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2001
Etch system, 12"
Rev.4
(2) Load locks
(2) Load ports
Front end
Chamber configuration:
Chamber 1:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 2:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 3:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Chamber 4:
APPLIED MATERIALS HART3 Deep trench chamber
Silicon etchers
Power requirements:
208 V
3 Phase
CE Marked
2001 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、主に半導体製造に使用される原子炉の一種です。この特定のタイプの原子炉は、酸化や拡散などの特定のプロセスに必要な高温および圧力を安全に含むように設計されています。主にシリコンウェーハなどの製造に使用されています。AMAT CENTURAは、外側の水晶チューブ、内側の水晶チューブ、冷却ファン、基板サポートを主成分とする水平シャワーヘッド構成リアクタです。外の水晶管は追加の保護を提供するステンレス鋼の箱によって包まれます。内部の石英チューブには、酸化または拡散する粉末が含まれています。基板サポートは、シャワーヘッド構成の下部に取り付けられた水晶板です。それは基質を置くことができ、適用された粉が基質に広がるプラットホームを提供します。冷却ファンは、適用された粉末を基板から引き離すために使用され、プロセスがスムーズに実行され、主要な熱の蓄積を防ぎます。応用材料CENTURAは、コンピュータ制御システムによって操作および監視されます。このコンピュータ制御システムは、各プロセスの精度と精度を保証します。また、プロセスの出力に影響または影響を与える可能性のあるすべてのパラメータを追跡します。これらのデータはすべてコンピュータのデータベースに保存されているため、潜在的な問題や変更を簡単に分析できます。結論として、CENTURAは主に半導体製造業で使用される特殊な原子炉です。これは、酸化や拡散などの特定のプロセスに必要な高温や圧力を安全に含むように設計されています。それはすべてのプロセスのための正確さそして精密を保障するコンピュータ制御システムによって作動させ、監視されます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、半導体産業において正確で高品質な結果を生み出すための信頼性の高い効率的なツールです。
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