中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9174767 を販売中

ID: 9174767
Radiance system controller cabinet P/N: 0290-70025.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、コンフォーマル、ピンホールフリー、高品質の薄膜の堆積のために特別に設計された高度な化学蒸着(CVD)原子炉です。このタイプの原子炉は、ロジックやメモリチップ、トランジスタ、太陽電池などの薄膜デバイスを製造するために、半導体や太陽電池産業で広く使用されています。AMAT CENTURAは、シングルチャンバー、4チャンバー、2チャンバプロセスツールの2つの一般的な構成で利用できます。デュアルウォールクォーツチャンバー設計により、幅広い温度範囲で材料を効率的に処理することができます。最初の層はコーニング7740石英で構成されており、厚さは2〜3ミリメートル、外壁は2〜3ミリメートルの断熱材でできています。これにより、外部環境からの最大の熱効率と断熱性が得られます。応用材料CENTURAは、差動大気圧力処理用に特別に設計されています。それに負荷ロック、移動および高温プロセスのための優秀なターンテーブルの設計があります。ターンテーブルは180°水平に動くことができ、プロセスツールを簡単に移動して再配置することができます。CENTURAは、水素、アルゴン、窒素、酸素などの幅広いプロセスガスも提供しています。圧力と温度の利用可能な範囲は、それぞれ20-1200ミリバーと300-1200°Cです。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAの高性能は、その高度な機能によるものです。直感的なグラフィカルユーザーインターフェイス(GUI)を備えており、使いやすく、薄膜の効率的な生産を可能にします。さらに、超精密なプロセスモニタリングおよび制御システムを備えており、プロセスデータを正確に記録および分析することができます。AMAT CENTURAは、高品質の薄膜成分の製造に適しています。そのデュアルウォールクォーツチャンバー設計は、高いレベルの再現性と再現性を保証します。さらに、そのプロセスガス、圧力、温度の広い範囲は、さまざまな薄膜製造アプリケーションに最適なツールです。最後に、直感的なGUIとプロセス監視と制御により、薄膜の品質と一貫性を確保するための信頼性の高い安全なツールとなります。
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