中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9170825 を販売中
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ID: 9170825
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 2002
CVD System, 8"
(4) Chambers
Type: Microwave
WSIX Optima
Fab interface: Front panel and GEM MCC
Load lock option: NBLL With 90° tilt out
Standard wafer mapping
Wafer sensor: Wafer out of cassette sensor (NBLL only, includes cass present sensor)
Manual transfer Ch hoist
Robot type: HP
Robot blade type: Metal (CES)
Vacuum facilities: Back end
Chambers A, B, C and D:
Chamber type: WxZ
Chamber process: WCVD
Endpoint
Standard TV
Standard Lid
Chamber E:
Type: Orienter
Chamber F:
Type: Cool down
Multi-slot cool down
OPTIMA System controller
Power service: Top
Monitors: TTW
System robot: HP
Gas panel type: Seriplex
Gas panel enclosure, 29"
G.P Facilities: Bottom feed SL (CES)
G.P Exhaust: Top
Gas line filters: Mott
BROOKS 6256 MFC
Backside cooling: Chamber A, B, C and D
Clean type: Microwave
(2) EMO's Mainframes
(2) EMO's Controllers
MF Exhaust: Top
Power service: Top
MFC Gasses:
Position A:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position B:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position C:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Position D:
Size / Type
500 / N2
2000 / H2
30 / SIH4
30 / WF6
150 / NF3
3000 / AR
3000 / AR
500 / H2
Missing parts:
SBC Board
VGA Board
Floppy Disk Drive (FDD)
Center find board
Chamber E encoder motor
Chamber lid cover (All chamber)
ORIENTE Interface board and CCD board
Power supply: AC 208 V, 3 Phase, 320 A, 60 Hz
2002 vintage.
AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉は、集積回路（IC）の製造のための非常に汎用性が高く、技術的に高度な原子炉です。これは、非常に大規模な集積回路（VLSI）やその他の高度なプロセス技術の生産を改善するために特別に設計されています。AMAT CENTURAリアクターは、ユーザーが組み立てプロセスに幅広い技術を組み込むことを可能にするユニークな設計を持っています。これは、モジュラープラットフォームフレームのセットを使用してセットアップをカスタマイズするモジュラーアーキテクチャに基づいています。これにより、複数の異なるプロセス手順を機器に迅速かつ正確に統合できます。このシステムは非常にユーザーフレンドリーで、エンジニアは数分で簡単に製造プロセスを開始できます。また、プロセス開発や新技術のプロトタイピングのためのプラットフォームも提供しています。ユニットのコアは、幅広いプロセスを容易にする高度なマルチゾーンリアクターです。ドライエッチング、ウェットエッチング、蒸着、スパッタリングが可能です。原子炉の複数の熱帯域は、異なる温度で複数の製造プロセスを統合することも可能です。また、原子炉にはコンピューター制御の温度調節器が内蔵されており、各温度ゾーンを正確に制御することができます。このマシンには、プロセスが安全に実行されるように設計されたいくつかの安全機能もあります。原子炉内の圧力が許容範囲内であることを保証するように設計された窒素パージングツールと安全弁を備えた圧力サービスモジュールを備えています。さらに、アセットにはイオン源とイオン注入器が組み込まれています。これにより、製造されるICの電気特性を変更するために使用されるさまざまなイオン注入プロセスを実行することができます。このモデルには、いくつかのオートメーションオプションも含まれています。これには、自動サンプリングおよび収集装置、プロセスを監視する安全パネル、および使いやすいレシピシステムが含まれます。要約すると、APPLIED MATERIALTS/APPLIED MATERIALTS CENTURAリアクターは、集積回路の製造のための強力で汎用性が高く、技術的に高度なユニットです。そのユニークなデザインは、複数のプロセス手順を組み込むことを可能にし、その安全機能は、マシンが安全で信頼性の高いことを保証します。
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