中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9161178 を販売中

ID: 9161178
ウェーハサイズ: 8"
ヴィンテージ: 1996
CVD System, 8" 1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、半導体デバイスと集積回路の製造用に設計された、複合、マルチチャンバー、デジタル制御化学蒸着(CVD)炉です。装置は複数のチャンバーで構成されており、それぞれが半導体ウェーハの作成に特定の目的を果たします。1つ目は、半導体ウェーハまたは基板を保持するように特別に設計されたロードロックチャンバーで、基板をシステム内の他のチャンバに導入することができます。それは他の部屋から物理的に隔離され、機能は高い真空を維持し、空気汚染を減らすことです。次のチャンバーは反応チャンバーで、CVDプロセスが行われます。これは、常に最適なパラメータを確保するのに役立つコンピュータ制御ユニットが装備されています。チャンバーは、温度、圧力、ガスの流れなどの必要な物理的条件が調整されて、目的の薄膜蒸着を作成し、基板に必要な特性を提供する場所です。第3部屋はCVDプロセスが完了した後機械の全面的な温度を減らすのを助ける冷却室です。冷却ファンを備えています。最後に、4番目のチャンバーはスピナーチャンバーであり、薄膜蒸着の均一性を確保するために、蒸着プロセス中にウェーハを回転させるために使用されます。これらの4つのチャンバはAMAT CENTURAツールによって制御され、各チャンバの条件が所望のプロセス結果と一致するようになります。この資産は高度に自動化されており、人間の介入を最小限に抑える必要があります。このモデルはエネルギー効率とスペース効率が高く、柔軟なチャンバー設計により、異なるCVDプロセスが必要な場合に迅速で簡単な装置変更が可能です。さらに、このシステムは信頼性が高く、費用対効果が高く、平均寿命は少なくとも10年です。APPLIED MATERIALS CENTURAは、高品質の半導体デバイスと集積回路の製造を支援する先進的なCVDユニットです。洗練されたコンピューター制御と強力なファンベースの冷却ツールを備えた、複雑なマルチチャンバーマシンです。高い信頼性と費用対効果により、CENTURAはハイテク生産ニーズに最適です。
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