中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160524 を販売中

AMAT/AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、優れたプロセス性能、環境安全性、およびコスト削減効果を半導体メーカーに提供するように設計された先進的なドライエッチング炉です。この原子炉は、業界をリードする技術を使用して、優れた精度と信頼性を備えた単層構造と多層構造の両方のエッチング、異方性エッチング、およびディープエッチングを実行します。耐食性に優れた耐久性のあるステンレス製ボディを採用し、低消費電力要件、センサ制御プロセス制御、高スループット機能、およびオプションのプロセス監視および制御機能により、効率的な動作と正確な結果を保証します。AMAT CENTURAには、超高アスペクト比（UHAR）エッチング機能やデュアル周波数電源などの高度なエッチング技術が搭載されています。これにより、ディープエッチングで優れた性能を発揮し、エッチングが困難な材料の大きなプロセスウィンドウを実現します。また、超高速シャッターユニットを搭載し、エッチング時間を短縮し、プロセススループットを向上させます。さらに、特許取得済みの静電チャック（ESC）技術により、最適な平面化が可能となり、処理中のウェーハへのX線損傷を防止します。APPLIED MATERIALTS CENTURAは、ウェーハの高速酸化と窒化のためのPECVDモジュールや、酸化物エッチングの均一性を向上させるための高度なモジュールなどのオプション機能を備えています。また、高度なウェハマッピング機能とプロセス監視機能を備えており、エッチプロファイルとプロセス履歴を直接視覚化できます。さらに、CENTURAはプロセスの問題を即座に検出することができ、直ちに是正措置を講じることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAには、最高レベルの安全性と信頼性を確保するために、クローズドループのガス配送および制御ツール、ウェハレベルのエッチングプロセス用の自動均一補正アセット、および重要なプロセスパラメータを維持するための精度のための統合プロセス制御モデルが装備されています。また、エッチング性能を向上させるための統合プラズマ診断システムや、エラーやプロセスの不安定を検出するための高度なプロセス分析をサポートしています。最後に、AMAT CENTURAはユーザーフレンドリーで費用対効果が高いように設計されており、自動化されたプロセスコントロール、使いやすいプログラミング、メンテナンスオプションにより、このユニットは短期間でも長期間でも理想的です。APPLIED MATERIALS CENTURAは、優れたプロセス性能と信頼性を兼ね備えており、ドライエッチング・リアクター技術を求めるあらゆる半導体メーカーにとって理想的な選択肢です。