中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9160522 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、無機物の費用対効果の高いプラズマ蒸着を高レートで提供するために設計された高性能の半自動PECVD（プラズマ強化化学蒸着）装置です。プロセスチャンバーには、13.56MHzで動作する4つのRF（無線周波数）源が含まれており、プロセスチャンバー内のマイクロ波プラズマを点火して維持するために使用されます。プラズマ源は低対中圧（<10-3 torr）に対応し、最大8kWの電力を供給できます。この汎用性の高いシステムにより、プロセスエンジニアは、高度なマイクロエレクトロニクスデバイスの製造および研究のために酸化物、窒化物、炭化物の薄膜を堆積することができます。シングルウェーハロードロックを組み込むことにより、チャンバは高速にフラッシュし、ユーザーの介入を排除し、プロセスチャンバーの汚染の可能性を低減し、所有コストと運用コストを削減します。ベローズシール付きの減衰ユニットを使用することで、チャンバーはエンド真空をトラップし、所有コストを削減するように設計されています。さらに、薄膜蒸着プロセスでは、ガス供給マニホールドを使用し、反応性および非反応性ガスに設定することができます。チャンバー内では、細かい角度のシャワーヘッド工具を使用してプロセスガスを均等に分配し、あらかじめ定義されたシャワーヘッドパターンを使用すると、ガスの均一な分配が保証され、すべてのウェーハにわたってプロセスの均一性が向上します。AMAT CENTURAリアクタには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイスソフトウェアも含まれています。このソフトウェアを使用すると、プロセスパラメータを統一されたメニューからチェック、構成、監視することができます。この機械は主に、より高いレート、より良いデバイス特性、より高いPおよびE品質、および部品あたりの低コストで薄膜成膜を含む半導体デバイス構造の製造に使用されます。応用材料CENTURA原子炉は、FAB20、 SEMI-S2規格の要件に準拠しており、クリーンで安全で効率的な薄膜蒸着プロセスを提供します。