中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9157220 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA®リアクターは、コンピュータチップ、集積回路、およびその他の高度なデバイスの生産のためのマイクロエレクトロニクス回路を製造するために使用される高度な半導体製造装置です。AMAT CENTURA®は、複数の異なる処理室と環境を1つの半自動装置に統合した高効率の自己完結型リアクター装置です。原子炉は、主なプロセスが行われる主要なチャンバー、前処理および温度制御チャンバ、および後処理および出力チャンバの3つの主要な部分で構成されています。原子炉中心部には、RFやマイクロ波発生プラズマなど、様々な高エネルギーのプラズマ源を組み込み、イオン源、ターゲット源、基板源（ウエハ）を含み、望ましい処理結果を得ることができます。基板ソースはウェーハのロードとアンロードに使用され、イオンソースはイオンタイプ、イオンエネルギー、イオンフラックスを構成してエッチング、蒸着、研磨を最適化します。ターゲット源は、化学蒸着中の様々な材料の供給源となる金属ターゲットを供給します。前処理室は、化学洗浄、金属エッチング、熱エッチング、表面活性化など、さまざまなプロセスで使用されますが、温度制御室は、メインチャンバーでの主な処理の前と中のターゲットと基板の両方の温度を正確に制御するために使用されます。温度制御チャンバーは、最適なエッチング、化学蒸着、拡散、またはリソグラフィープロセスを可能にするため、APPLIED MATERIALTS CENTURA®リアクタシステムの特に重要なコンポーネントです。後処理の部屋はガスのクリーニング、熱処理、そして最終的な不動態化のために使用されます。また、CENTURAR®リアクターユニットには高度な制御装置が採用されており、1つのプロセスの実行から次のプロセスへの正確で再現性の高いパフォーマンスを保証します。また、原子炉はモジュラー式でフレキシブルに動作するように設計されており、変化するアプリケーションに調整することができます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA®リアクターは、半導体製造業界の厳しいニーズを満たすことができる信頼性が高く、効率的で高度に構成可能なツールであるように特別に設計されています。その高度なプラズマ源、温度制御機能、洗練されたガス管理ツール、汎用性の高いモジュール設計により、研究および生産アプリケーションの両方に理想的なプラットフォームとなっています。