中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9121573 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、AMATによって建設された大規模で多目的、生産規模の半導体製造炉です。この装置は、高精度および高収率の部品のための半導体産業の絶えず増加するニーズに対応するように設計されています。このシステムには、最先端の技術と優れた生産性能を確保するためのユニークな機能が含まれています。AMAT CENTURA原子炉は、ガリウムヒ素（GaAs）プラットフォーム上に構築され、最大3。5インチのバーチャルウェハサイズを作成することができます。集積回路構造、薄膜、高密度相互接続（HDI）基板用の超精密部品の製造が可能です。このユニットは、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）と物理蒸着（PVD）の両方の層に完全な機能を提供するように設計されています。機械の主要な特徴は高いデューティサイクル、優秀な材料特性および例外的なプロセス制御です。高速生産機能により、部品の迅速な加工が可能となり、半導体製造のサイクルタイムを短縮できます。イオンおよびフォトニックビーム加工機能により、業界が必要とする高精度を実現します。また、さまざまなプロセス構成に容易に適応でき、需要に対応するために迅速に再構成することができます。このツールは、パラメータのリアルタイム監視とレポート、基板登録と配置、粒子制御、チャンバ圧力と掃除機の清浄度、チャンバプロファイルの検出、プロセスパラメータの最適化など、プロセス制御機能の完全なスイートを提供することもできます。さらに、この資産には、プロセスの変更を効果的に処理し、スループットを向上させるための幅広いオートメーションオプションと、迅速で信頼性の高い製品製造のためのレシピのライブラリがあります。APPLIED MATERIALTS CENTURAリアクターは、最高レベルの品質要件に対応し、信頼性と精度を提供するように設計されています。このモデルは、制御性と再現性に優れた高性能、高分解能のナノ構造構造の製造に最適です。