中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9116528 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体デバイス製造に使用される先進的な材料蒸着システムです。半導体ウェーハ表面に薄膜材料を配置し、集積回路の回路、トランジスタ、その他の重要部品を形成するために使用されます。AMAT CENTURA原子炉は、水平ウェブスピナー、プラズマジェネレータとジェネレータマウント、プラズマ電源、真空チャンバー、ロードロックなど、いくつかのコンポーネントで構成されています。水平ウェブスピナーは、薄い半導体ウェブを回転させ、ロードロックにロードされ、真空チャンバーに配置されます。真空チャンバー内では、ウェブは高度なプラズマベースのプロセスを使用して薄膜材料でコーティングされています。プラズマ発生器は、アルゴン、窒素、酸素原子のプラズマを生成し、高温や圧力でウェブ上に誘導します。プラズマ中の負イオンは、ウェブ上の材料と相互作用し、薄膜層を作成します。反応ガスや動作条件を変化させることで、薄膜層での沈着、酸化、合金化などのプロセスを行うことができます。また、ウェブをオゾンまたは高エネルギーのプラズマで処理してウェーハ表面をきれいにし、薄膜層の前後に余分な粒子や汚染物質を除去することもできます。プラズマはまた、プロセス制御の面で大きな柔軟性を持っており、異なる方向にステップを実行するために使用することができます。これにより、より正確なプロセス制御が可能になり、デバイスの製造に不可欠です。APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターには、高度なControlLogixソフトウェアが搭載されており、必要なプロセス要件を満たすために、電源設定、ガスの流れ、および真空設定などのプロセスのパラメータを調整できます。ソフトウェアはまた、ユーザーが結果を分析し、発生する可能性のある問題をトラブルシューティングできるように、プロセスからのデータを記録します。CENTURAリアクターは、より高い精度、より高いスループット、より速い処理速度を可能にするため、半導体デバイスの製造にとって非常に貴重なツールです。高度な技術とプロセス制御機能により、半導体製造業界の重要な要素となっています。