中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9065058 を販売中

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AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA
販売された
ID: 9065058
Platform MxP or MxP+ Chambers.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体デバイス製造のための高効率ツールです。チップ、回路、その他のマイクロエレクトロニクス部品の大量量産用に設計されています。蒸着、エッチング、イオン注入用途に幅広い機能を提供します。AMAT CENTURAリアクターは、シングルウェーハまたはバッチ処理に使用できる高度で大規模な電子機器です。強力で高温、高圧、高真空のプロセスチャンバーを備えており、優れたプロセス精度と均一性を実現します。このシステムは信頼性が高く、+/-1°Cの高精度温度制御を提供し、欠陥率が低くなります。また、原子炉は高度に自動化されており、特定の堆積、エッチングおよびイオン注入プロセスのためにプログラムすることができます。応用材料CENTURA原子炉は、いくつかのコンポーネントで構成されています。メインチャンバーには、RF(無線周波数)プラズマ源と熱源が装備されており、どちらも反応イオンエッチング(RIE)プロセスに使用されています。RFソースにより、高精度の回路のレーザーアブレーションとエッチングが可能です。熱源はエッチング工程中、チャンバー内で一定の温度レベルを維持します。この原子炉はまた、負荷ロックとクライオポンプを備えており、プロセス全体にわたって高真空レベルを維持しています。CENTURAリアクターはまた、反応室へのガスや液体の正確な配信を可能にするガス供給ユニットを備えています。このマシンは、ユーザーインターフェイスで制御および監視することができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターには、真空マニホールド、リレーボア、圧力トップロックも含まれており、複数の基板を同時にシームレスに処理できます。AMAT CENTURA原子炉は、オペレータの安全性と製品の信頼性を維持するために、最先端の安全機能を備えています。原子炉には、電気と物理の両方のセキュリティシステムと、迅速かつ安全なシャットダウンのための緊急停止ボタンが装備されています。全体として、APPLIED MATERIALTS CENTURAリアクターは、効率的で正確な半導体デバイス製造を可能にするように設計されています。蒸着、エッチング、イオン注入のための信頼性、高精度、再現性の高いプロセスを可能にする様々な高度な機能と技術を提供しています。この原子炉は、シングルウエハとバッチ処理の両方に適しており、運転中に最大限の安全性と信頼性を確保する高度な安全機能を備えています。
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