中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9057368 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA™リアクターは、幅広い半導体プロセスに対応する高性能、柔軟性、コスト意識の高いエッチングツールです。高度な設計と独自の技術により、AMAT CENTURAリアクターは最大のスループットと精密エッチングを提供します。APPLIED MATERIALTS CENTURAは、さまざまな生産要求に対応するためにさまざまなチャンバー構成を処理するように設計されています。CENTURAリアクタには、xとyの直交アライメント、速度、加速度、およびフォースセンシングなどの複数のモーションパラメータを含む高度なリニアモーションドライブが装備されています。この堅牢なドライブにより、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは高スループットを実現し、維持できます。単セル静電チャック（ESC）設計により、圧力を最小限に抑え、電子温度を最適化し、スループットを向上させます。AMAT CENTURA原子炉は、ユーザーが正確なエッチングの均一性で最適なパージとエッチング速度を達成することを可能にする最先端のガス供給および制御システムを備えています。誘電体絶縁技術は、ウェーハ加熱を最小限に抑え、急速な加熱と冷却を実現し、スループットと均一性をさらに向上させます。APPLIED MATERIALS CENTURAは、フルビューの着色されたビューポートと、ウェーハの積み下ろしを容易にし、安全性、汎用性、スループットを向上させる内部ロボットで設計されています。さらに、CENTURAリアクタには、ウェーハスケーリング、オリエンテーション、ハンドリングなどのウェーハハンドリング機能が豊富であり、圧力、温度、電力、フローなどの最も重要なプロセス条件をリアルタイムで監視できます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターには、高度なプロセス制御と診断ハードウェアとソフトウェアが装備されており、ユーザーは操作をカスタマイズし、最大の均一性と収率を達成するためにプロセスパラメータをリアルタイムで調整することができます。これには、予測メンテナンスとトリガベースのアラーム機能を提供する独自のSmartManagementソフトウェアが含まれます。結論として、AMAT CENTURA™リアクタは、パルスモードのパワー、スループット、精密エッチングを最大限に発揮する高度で費用対効果の高いエッチングツールであり、ユーザーフレンドリーでリアルタイムのプロセス制御および予測保守機能により、幅広い半導体加工アプリケーションに最適なソリューションです。