中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9040065 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA （AMAT）は、半導体製造プロセスで一般的に使用される原子炉です。KLA-Tencorスキャナの各種構成や研究開発ツールに使用されています。この製品は、サポートされている高密度プラズマ（HDP）チャンバーを備えた垂直チャンバーリアクターとして構築されています。AMAT CENTURAには、2段の絶縁ホットゾーンセルとバックサイドのコールドリング電源装置が装備されており、均一な温度を提供し、チャンバーの広い領域に電力を分配します。内壁にモリブデンフィルムをコーティングし、エッチング効率を最大限に高めています。APPLIED MATERIALS CENTURAは、深い異方性エッチングを含む特殊なエッチングアプリケーションを備えており、ポジティブトーンとネガティブトーンの両方のレジスト材料をエッチングすることができます。これは、エッチング速度を正確に調整するように設計されたプラズマ電源により可能です。また、プラズマエッチング時に優れた均一性と精度を確保するために、温度補償と温度フィードバック制御を自動化しています。CENTURAリアクターは、反応性イオンエッチング（RIE）、イオンアシストエッチング（IAE）、イオンビームエッチング、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）などの様々なガスレジームを備えた相対的な低周波プラズマ源によって駆動されます。AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURAは、金属材料を化学反応させてスパッタリングすることができ、プリント基板を製造するための優れたツールです。さらに、このシステムは、特定のアプリケーションの動的ニーズを満たすために、エッチングパラメータを簡単かつ迅速に調整する柔軟性を備えています。AMAT CENTURAの設計により、既存の機器プラットフォームの拡張がより高い生産量を満たすことができ、さまざまなアプリケーション要件に対応するためにプロセスを即座に変更することができます。この柔軟性により、ダウンタイムを最小限に抑え、スループットを向上させることで、迅速な変更を可能にします。APPLIED MATERIALSユニット構成オプションを使用すると、より高いスループット、エッチング速度、または異なる材料のプロセスプロトコルを変更するためにチャンバを変更できます。応用材料CENTURAは、さまざまな安全機能を備えた信頼性と耐久性に優れた機械です。ユニットはステンレス製のエンクロージャに収納されており、安全インターロックと調整可能なガスマニホールドの両方が事故リスクを低減し、人員を保護するように設計されています。部屋の壁はアルミ合金で構成され、熱的に安定したガラスカバープレートが取り付けられています。CENTURAは、エッチング性能、制御精度を最適化し、全体的な効率を高めるさまざまな機能を提供する半導体炉です。その柔軟性と耐久性は、正確なエッチングとスパッタメタルソースを必要とするさまざまなアプリケーションの優れたプラットフォームとして機能します。このツールにはさまざまな安全機能が付属しているため、安全で信頼性の高いツールになります。