中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9026986 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、AMATの高スループット化学蒸着（CVD）炉です。SiO2、 SiN、 SiOCHなどの低誘電層材料の成膜に使用されるフル機能のプロセスツールです。CVDプロセスの能力はSiO2沈殿に限らず、poly Si、 poly SiGe、 TaNなどの様々な他の材料の沈着にも使用できます。AMAT CENTURAリアクターは、直径20インチまでの大きな低真空チャンバーを備えています。2つのヒートゾーンを個別に調整できるため、基板全体に均一な蒸着が可能です。プロセススループットを最大化し、製品のサイクルタイムを最小限に抑えるために、装置は急速なガス混合および配達のための大量のガスのディストリビューターと設計されています。この原子炉には、高温壁インジェクタと、正確な固体CVD用の低圧CVDソースが装備されています。このシステムには、最大40個のRF対面ポートを備えたリニアアレイのシャワーヘッドが含まれており、リアクタントガスをウェハ/基板表面に均等に分配します。また、ウェーハ/基板搬送オプションも豊富で、内部スクラブやクリーニングシステムも内蔵しており、再現性と均一性に優れた再現性を実現しています。APPLIED MATERIALS CENTURAには、堅牢なデジタルコントロールマシンも装備されています。これにより、原子炉の温度、圧力、およびリアクタントガスの流量を正確かつ一貫した制御が可能になります。CENTURAのin-situモニタリングは、正確なin-situ特性評価を提供します。これは、結果として生じる層の厚さ、均一性、および品質の再現性を確保するために重要です。APPLIED MATERIALSは、基板の迅速かつ自動的な積み下ろしを可能にするカセットツーカセットエンドエフェクタ（C2C AE）、ローダー、アンローダー、ポンプ遷移モジュール（LUT）など、原子炉の性能をさらに高めるためのさまざまなアクセサリーと機能を提供しています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、幅広い低誘電層材料の成膜用の信頼性の高い堅牢なCVDプロセスツールです。その幅広いプロセス機能とモジュラーアクセサリは、ユーザーにコーティングプロセスの高度な制御を提供し、大規模なインフラストラクチャの変更を必要とせずに既存のモジュールやアーキテクチャに統合することができます。