中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293793204 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、マイクロエレクトロニクスおよびオプトエレクトロニクス産業における輸送および成膜アプリケーション用に設計された高性能加工ツールです。この原子炉は、高度なプロセス制御アーキテクチャを使用して、優れたプロセス安定性、再現性、精度を提供します。この原子炉は、さまざまな物理的および化学的プロセスをサポートし、光学、電気、分析ツールなどの幅広いオプションを提供しているため、さまざまなプロセスの要件を満たすことができます。AMAT CENTURAリアクターは、さまざまなガス圧力とガス流量に最適化された統合圧力制御装置を備えています。また、VFD （Variable Frequency Drive）システムを備えており、基板に供給される電力レベルを安定化および調整し、プロセス結果を改善します。この機能により、堆積プロセス中のプロセス温度、圧力、ガス流量、ガス種の調整が容易になります。これにより、ユーザーはフィルムの成長率と組成を正確に制御することができます。この原子炉の2レベル基板支持構造は、不均一な熱負荷の基板を処理する場合でも、優れた基板安定性を実現します。応用材料CENTURA原子炉には、それぞれのガス容器内の圧力を監視する多点圧力センサーが装備されています。これは、常に均一なガス供給圧力を維持するのに役立ちます。オンボードガス搬送ユニットは、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）や化学蒸着（CVD）などの用途に適したガス種をシームレスにプロセスチャンバーに供給します。質量分析計、残留ガス分析計、光放射分光法などの分析ツールを使用すると、プロセスの状態や診断を監視できます。CENTURA原子炉は、安全な作業環境を確保するために、いくつかの安全周辺機器も提供しています。これらには、排気マニホールド、基板/センサーシールド、およびドアインターロックスイッチが含まれます。エキゾーストマニホールドは、エキゾーストマシンに誘導することにより、反応製品が近隣地域に分散するのを防ぐのに役立ちます。基板/センサーシールドは、基板や他のセンサーを強力なプロセスへの直接露出から保護するのに役立ち、ドアインターロックスイッチは、操作中にツールのドアが開かないようにします。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、高品質の結果を達成し、維持するのに役立つエネルギー効率の高い処理ツールです。ハイエンドガス管理資産、統合圧力制御、効果的な監視および分析システム、複数の安全周辺機器などの高度な機能を1つのパッケージに組み合わせることで、さまざまなプロセスアプリケーションに最適なソリューションとなります。