中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293751886 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、半導体デバイスの製造に使用される高性能の物理蒸着（PVD）炉です。AMAT CENTURAはシングルウェーハリアクターで、一度に1つのウェーハを処理することができます。APPLIED MATERIALTS CENTURAは、半導体ウェーハ上に材料を堆積するために、さまざまな蒸着方法とプロセスを使用します。蒸着方法には、熱蒸発、スパッタ蒸着、化学蒸着（CVD）、パルスレーザー蒸着（PLD）などがあります。CENTURAは、その品質を損なうことなく、高いスループットで均一な材料層を一貫して蒸着するように設計されています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉室はステンレス製で、抵抗発熱体によって加熱されます。10-7 Torr以下の超高真空チャンバーです。急速なサーマルサイクリングが可能で、ウェーハ上に素材を素早く沈殿させ、アニールすることができます。AMAT CENTURAには充電封じ込め技術も搭載されており、電子やイオンがチャンバーから逃げずにウェーハを汚染します。これにより、ウェーハの性能に影響を与える不純物が汚染されるのを防ぎます。アプライドマテリアルズCENTURAは、幅広い半導体ウェーハの製造に使用される汎用性の高いツールです。これは、ウェーハ上のコバルト、モリブデン、タンタル、タングステン、パリレン、チタンなどの蒸着材料に利用されています。また、金属、酸化物、窒化物、ポリマーなど、さまざまな材料を処理することができます。また、物理蒸着に加えて、現場でのエッチングや洗浄工程を行うことで、ウェハ表面のさらなる洗練を図ることができます。また、in-situ Desorption and Reflection High-Energy Electron Diffraction （DRHEED）を実行することもできます。この情報は、特定の温度や圧力にさらされたときの材料の挙動をよりよく理解するのに役立ちます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、ウェーハの製造に多くの業界で使用されている高度で信頼性の高いPVDツールです。その柔軟性と性能により、さまざまなアプリケーションで高品質のウェーハを製造するのに最適です。