中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293652600 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、フォトレジストや基板材料の加工に使用される高スループット、マルチチャンバープロセスステーションです。半導体、医療機器、薄膜コーティング、航空など、精密な加工が求められる多くの業界で使用されています。ステーションは、囲まれたステンレス製のハウジングで構成され、テーブル、または基板ステージ、および4つの独立した処理モジュールが装備されています。各モジュールにはさまざまな制御部品が装備されており、ポンプやインジェクタからリアクタ、ミキサー、蒸発器まで、さまざまな種類の機器を含めることができます。モジュールはプログラム可能で、堆積、エッチング、クリーンなど、複数のプロセスに構成できます。各モジュールには安全遮断弁も装備されており、危険物処理に適しています。AMAT CENTURAのテーブルは、さまざまな基板サイズ用に設計されており、石英やシリコンなどのさまざまな形状や材料のウェーハに対応できます。調節可能なヒーターと温度制御センサー、および処理中の基板の安全なグリップ用の真空チャックも備えています。ウェーハホルダーは、異なるサイズのウェーハに対応するように調整することができます。テーブルは沈殿物およびエッチングの角度の範囲を提供するために傾けることができます。基板表面の均一性を確保するために、APPLIED MATERIALS CENTURAは調整可能な回転システムも備えています。各モジュールには真空チャンバーと真空ポンプシステム、および処理チャンバーにガスを導入するための入口バルブが含まれています。入口バルブは、プロセスの均一性を確保し、処理チャンバー内のガスの流れと分布を制御します。気体分布は、チャンバー内の圧力マッピングによって監視されます。真空チャンバーはステンレス製で、耐薬品性セラミックが並び、低圧、無酸素環境を実現しています。この環境により、堆積、エッチング、洗浄など、さまざまなプロセスが可能になります。CENTURAには、X線ツールやプロセスガスアナライザなどの追加の監視および制御システムを統合する機能もあります。また、クラス5のクリーンルーム機能も備えており、危険物の取り扱いに適しています。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、高度なプロセスモニタリング、分析ツール、オートメーションの統合により、フォトレジストや基板材料を処理するための効率的で汎用性の高い原子炉です。信頼できる部品、高いモジュール性、および低い維持費の組合せはそれをさまざまな企業のための費用効果が大きい解決にします。