中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293649931 を販売中
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ID: 293649931
ウェーハサイズ: 12"
Etcher, 12"
OEM Process
Transfer chamber
(3) Chambers
(2) AC Racks
Loader
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、薄膜の蒸着用に設計された磁場補助プラズマ系物理蒸着（PVD）原子炉です。イネーブラは、熱源の必要性を排除し、より低い処理温度で高品質で欠陥のない薄膜を生成することを可能にする、コールドウォールRFマグネトロンプロセスで設計されています。これは、沈着速度の広い範囲が可能であり、沈着サイクルごとに数マイクロメートルまで数アングストロームから処理することができます。AMAT Centura Enablerは、高性能で低消費電力のRFジェネレータと、小型で調整可能なRFアンテナプラテンを備えています。高周波RFジェネレータと調整可能なRFアンテナプラテンの組み合わせにより、物理蒸着プロセスを正確に制御でき、利用可能なプラズマ電力を効率的に使用できます。発電機は、数ワットから数百ワットまでの電力レベルの範囲を生成することができ、堆積プロセスを正確に制御することができます。さらに、調整可能なRFアンテナプラテンは、ユーザーが堆積されている特定の材料に基づいてRFアンテナの配置と向きを調整することができます。APPLIED MATERIALTS Centura Enablerには、高度な監視、制御、安全システムも装備されており、ユーザーはリアルタイムでプロセスパラメータを調整し、均一性と再現性を最適化できます。モニタリングシステムはまた、さまざまなプロセス条件を記録し、堆積性能の詳細な分析と検証を可能にし、トラブルシューティングとメンテナンス活動を支援します。Centura Enablerの高度な設計と光学技術により、化学蒸着（CVD）、プラズマ強化化学蒸着（PECVD）、原子層蒸着（ALD）など、幅広い蒸着技術が可能になります。これらの技術により、金属酸化物、ナノ構造炭素、および高い表面エネルギー材料など、最も技術的に要求の厳しい材料の一部を堆積させることができます。Enablerにはガス配送システムも装備でき、異なる材料を1つのプロセスで混合して堆積させることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは非常に汎用性の高いツールで、幅広い機能を提供し、信頼性と再現性の高い方法で最先端の材料の一部を処理することができます。最新のプラズマ蒸着技術を活用することで、イネーブラは今日の技術で使用される最も複雑な材料のいくつかを作成するのに役立ちます。
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