中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293624204 を販売中
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ID: 293624204
ウェーハサイズ: 12"
ヴィンテージ: 2006
Etchers, 12"
EFEM
Process: Oxide
(5) AMAT Enabler
(3) Chamber enabler
(1) Generator rack
AC Rack (CVCF, UPS)
TM Module with VHP Robot
RF Rack (ENI B5005, GHW 50A)
Side storage
parts included
2006 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、半導体集積回路の製造に使用される化学蒸着(CVD)炉です。AMAT Centura Enablerは、プロセスの柔軟性と非常に高度な温度制御を提供するように設計されています。最先端のCVDプロセスと材料をサポートし、驚異的なフィルム均一性とパワーを実現し、パフォーマンスを高速化します。APPLIED MATERIALTS Centura Enablerは、特許取得済みの均一な蒸着技術を備えており、非常に複雑な誘電スタックのコンフォーマルおよび完全なカバレッジを容易にします。高度なマルチゾーン温度制御システムを備えており、原子炉の異なるゾーンで異なる温度を可能にします。これにより、優れたフィルムの均一性と制御が可能になり、同時に複数のプロセスを独立して実行することができます。Centura Enablerには革新的なろ過システムがあり、すべてのプロセスの副産物をフィルタリングし、最高レベルの清潔度と歩留まりの結果を提供します。これは、ウェーハ表面に非常に薄い層の堆積を達成するために特に有用である。また、ろ過システムは、沈着前駆体の数を最小限に抑えるように設計されており、生産歩留まりが向上しています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Enablerは、非常に信頼性が高く、ダウンタイムを削減するように設計されています。高級ステンレス鋼で構成されており、耐食性に優れ、大量生産設備の剛性に適しています。また、メンテナンスや修理に簡単にアクセスできるだけでなく、トラブルシューティングを簡単にする内蔵の診断システムも提供します。全体として、AMAT Centura Enablerは最先端のCVD炉であり、高度なプロセス柔軟性、温度制御、および精密ろ過機能を提供します。優れた結果を提供するために構築されており、優れた信頼性と保守性を提供します。
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