中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #293600348 を販売中
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ID: 293600348
ヴィンテージ: 1997
Metal etcher
Mainframe
(2) DPS Chambers (Poly and metal)
(2) R2 Chambers
(2) ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER Transfer pump / loadlock pump
(3) BOC EDWARDS iH80 Dry pumps
(3) NESLAB HX-150 Chillers
HP Robot
Narrow body load locks
AC and generator rack
1997 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAウェーハリアクター（AMAT CENTURA）は、さまざまな材料で複雑なウェーハパターンを作成するために設計された金属成膜ツールです。このツールは、他の多くの間で金、アルミニウム、チタン、クロム、タングステンなどの材料を堆積するために使用することができます。APPLIED MATERIALTS CENTURAは、低コストの化学蒸着（CVD）および化学機械平坦化（CMP）技術を使用して、非常に均一で微細な金属構造を生成します。CENTURAは、ウェーハの再配置、ウェーハ性能、チャンバ使用率などのプロセス能力を高める高効率のトータルチャンバー設計を採用しています。この効率的な設計は、より少ない時間でより多くのウェーハを処理することができるデュアルサイクルCVD装置を備えています。Dual Cycle CVDは同時に最大16個のウェーハを同時に処理することができ、異なる材料の複数の成膜を同時に行うことができます。さらに、デュアルトラックCMPモジュールにより、スループットを向上させることができ、均一性、平面性、金属化の面で優れた結果を得ることができます。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、これまでにないレベルの柔軟性と精度を提供し、ユーザーが最も複雑な詳細を入金、エッチング、研磨することができます。CVDシステムには、パターンの特徴をリアルタイムで評価する高度なオンウェーハメトロロジーユニットが装備されています。これにより、ユーザーは前例のないプロセス制御を可能にし、高度に詳細な機能の正確な堆積パラメータを可能にします。さらに、AMAT CENTURAには、すべての必須プロセス領域の温度分布を正確にマッピングするための動的温度マッピング機能が含まれています。さらに、APPLIED MATERIALS CENTURAには、高度な安全機能とプロセス条件の最適化に役立つ多数のプロセスツールが装備されています。このツールには「、安全へのセンサー」モニタリングマシンが含まれ、ウェーハ除去用のウェーハ真空がポップアップします。このツールの他の機能としては、粒子検出アセット、真空圧力監視モデル、ウェーハ処理用の信頼性の高いロボットアームなどがあります。CENTURAは、優れた精度と再現性を提供し、優れたウェーハ表面の均一性を提供します。このツールは、柔軟な製造プロセスの一環として、完全に自動化され、他のツールと統合することもできます。この柔軟性により、ユーザーはプロセスを統合し、生産プロセス全体を制御できます。高度な機能と直感的な操作を備えたAMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAは、高品質のウェーハの精密な成膜と研磨に最適なツールです。
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