中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #196641 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体製造装置のリーディングメーカーであるAMATが製造した特殊工具です。AMAT CENTURA Reactorは、集積回路（IC）デバイスの製造に使用するために特別に設計されています。酸化、蒸着、エッチング、アニール、イオン注入、プリクリーンなどの用途に使用されます。APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、ガスタイトエンベロープ、ウェハハンドラ、および必要な制御システムを収容する堅牢なステンレススチールエンクロージャで構成されています。原子炉の主な構成要素は、石英プロセスチャンバー、真空装置、プラズマ生成を可能にする無線周波数（RF）発電機およびRFケーブル、およびチャンバーの清潔さを維持するためのin-situクリーニングシステムです。特殊な石英部品もCENTURA Reactorの構造とそのプロセス能力に加わります。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactorは、最大限の均一性と再現可能なプロセス結果を得るために、圧力、温度、フロー、およびその他の変数を操作中にプロセスチャンバー内で正確に制御できる独自のプロセスコントロールユニットを内蔵しています。AMAT CENTURA Reactorは高度にカスタマイズ可能で構成可能で、ユーザーは特定のアプリケーション要件に応じて簡単にマシンを構成できます。この原子炉は、アルミニウム/銅の堆積、ポリシリコン層の堆積、シリコン沈着、ポリシリコンのドーパントエッチングなど、さまざまな機能をサポートするためにセットアップすることができます。加えて、アプライドマテリアルズCENTURAリアクターは、大きなサイズのダイを処理することができるため、スループットの向上と歩留まりの向上を可能にします。CENTURAリアクターには、安全で信頼性の高い運転環境を確保するために、ガス安全インターロックやチャンバー衛生などのさまざまな安全システムも含まれています。これらの安全システムは、汚染や生産性の低下による高価な修理を防止するのにも役立ちます。さらに、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA Reactorは、ドライポンプやクーラーなどの他の機器と接続して、さらなるプロセス能力を得ることができます。全体として、AMAT CENTURA ReactorはIC生産のための高度で信頼性の高いツールです。これは、再現性、精度、運用安全性など、半導体業界の厳しい品質要件を満たすように設計されています。さらに、カスタマイズ可能で構成可能な機能により、ユーザーは特定の要件に応じてツールを簡単に適合させることができ、スループットの向上と歩留まりの向上に大きな可能性を提供します。