中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146828 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALTS CENTURAは、マイクロエレクトロニクス機器の製造に使用される高温炉です。半導体基板に絶縁体や導体など様々な膜を堆積させるために使用できます。AMAT CENTURAは、高温グレードのセラミックス、ステンレス鋼、および望ましいフィルムを作成するために必要な高温に耐えるように構築された他の熱成分から作られています。プロセスチャンバー、電子ビームガン、冷却部品を含むハウジングで構成されています。プロセスチャンバー内には、基板を配置できる台座があります。基板は電子ビームガンによって加熱され、基板表面を電子で爆撃します。ビームが基板全体に向けられて焦点を合わせると熱が発生し、材料が溶け始め、最終的に基板表面から蒸発します。プロセス部屋はプロセス部屋の内部に大気を提供するのに使用することができる2つのガス源を特色にします。1つのガス源はフィルム蒸着領域に向けられ、もう1つのソースはカップリングに向けられ、基板に追加の冷却を提供することができます。プロセス部屋の中の温度は800°Cまで温度に達することができます。この加熱された雰囲気により、成膜が急速に行われ、基板に高品質のフィルムを堆積させることができます。さらに、0。1°Cの精度で大気を制御することができ、望ましい結果に応じて幅広いフィルムを堆積させることができます。応用材料CENTURAのサイズと重量は、クリーンルーム環境での取り扱いに最適です。直径200mmまでの基板に対応可能で、プロセスチャンバー内のプロセスを制御するための使いやすいLCDスクリーンを備えています。CENTURAは、高品質フィルムを備えたマイクロデバイスの製造に最適な高温炉です。それは800°Cまで温度に耐えることができ、0。1°Cの精密のプロセス大気の精密制御を提供できます。また、クリーンルーム環境に簡単に設置でき、直径200mmまでの基板にも対応可能です。