中古 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #146827 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURAリアクターは、半導体デバイス製造およびプラズマ処理のための最先端かつ信頼性の高いシステムの1つです。半導体デバイス製造における研究開発と生産アプリケーションの両方に対応する非常に柔軟なツールです。装置に2つの主要な部品があります：第1は不活性ガスと加圧し、真空が安定することができる一連の水晶かステンレス鋼の版で構成される真空の部屋です。2番目の成分は陰極アセンブリであり、陰極材料を保持し、プラズマを生成するためにチャンバーに挿入することができます。さらに、プラズマの電力を供給するRF発電機と、プロセスガスをチャンバーに入れるガス供給システムを備えています。AMAT CENTURAリアクターのRFジェネレータは、出力を制御できる高電圧モジュールです。これにより、オペレータは動作パラメータを微調整し、最適な電源制御設定を選択することができます。RFジェネレータは、ウェハに印加されるバイアス電圧の制御にも対応します。RF発電機はまた、シールドとして機能し、回路との干渉を防ぐのに役立ちますチャンバーのベースプレートに接続されています。このガス供給ユニットは、アプライドマテリアルズCENTURA原子炉の主要コンポーネントでもあります。一連の入力バルブと出力バルブを介して真空チャンバに接続され、チャンバーに酸素や窒素などのプロセスガスを導入するために使用されます。このガスはプロセス材料と混合され、チャンバー内で再循環されて適切な温度と圧力制御を維持します。CENTURAリアクターの陰極アセンブリは、機械部品と電気部品の組み合わせによって所定の位置に保持されている電極のセットで構成されています。これらの電極はチャンバー内でプラズマを形成する役割を担っており、使用する電極の種類や組み合わせは用途によって異なります。陰極アセンブリはユーザーの特定の必要性に適するためにカスタマイズすることができます。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA原子炉のチャンバーも高度に調整可能であり、チャンバー内の温度と真空レベルを増加または減少させるようにプログラムすることができます。これにより、ユーザーは所望の動作条件を達成することができ、プロセスの歩留まりを大幅に向上させることができます。要約すると、AMAT CENTURAリアクターは、半導体デバイスの製造とプラズマ処理のための信頼性と汎用性の高いマシンです。研究開発および生産アプリケーションをサポートする優れた機能と、RFジェネレータ、ガス供給ツール、カソード組立などの信頼性の高い機能の組み合わせを提供します。これらのすべてのコンポーネントは、アプライドマテリアルズCENTURA原子炉を半導体デバイスの製造とプラズマ処理のための最も人気のある選択肢の1つにするために結合します。