中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XP #9201763 を販売中
URL がコピーされました!
タップしてズーム
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XPリアクターは、今日の高生産性半導体製造の要求に応えるために設計された汎用性の高い加工装置です。この機器は、高度なプロセスとレガシープロセスの両方に対応できるため、異なるテクノロジー間の移行時に優れた柔軟性と拡張性を実現できます。AMAT Centura XPは、蒸着、エッチング、化学蒸着（CVD）など、さまざまなプロセスを実行することができます。また、計測、ウェーハ破損検出、故障監査のオプションを備えた高度なプロセス監視と制御を提供します。APPLIED MATERIALTS Centura XPは優れた熱制御を提供し、自動ウェーハ転送サポートを備えているため、高速なサイクルタイムと再現可能な結果が得られます。Centura XPリアクタは、デュアルロードロックと自動化されたin-situ loadlock （ISLL）オプション、ならびにプログラム可能、モジュール式、拡張可能なプラットフォームにより、優れた柔軟性と精度を提供します。これにより、ユーザーは特定のニーズに合わせてユニットを構成でき、最大限のプロセス制御が可能になります。さらに、高圧ガスと液体PRGD、統合された安全チェックとインターロック、自動化された圧力と温度の監視、および（アプリケーションの種類に応じて）いくつかのオプションを備えた加熱ツールを備えています。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XPリアクターは、最高の信頼性と稼働時間を実現するよう設計されており、幅広い統合機能を備えています。最大24のレシピレベル、オンザフライ調整、酸素、ヘリウム、窒素パージをサポートし、エッチングや表面損傷のための下流リアクタントなどの高度なプロセスレシピに対応しています。さらに、このアセットには20インチクラスタツールが含まれており、最大6つのウェーハに最大5つのレシピを同時に適用できます。一方、自動カセット・ツー・カセット（CTC）転送モデルにより、信頼性の高いウェーハ転送サイクルが保証されます。この装置の構造は、ミラー研磨部品を備えており、粒子発生を低減し、パフォーマンスとスループットを最大化します。さらに、AMAT Centura XP原子炉は、低コストで大量のプロセス再現性と優れた粒子制御のために設計されています。信頼性と稼働時間を最大化するために、システムには自動プロセス検証レイヤーが装備されており、迅速なエラー検出と修正が可能です。その他の機能には、オンボードの予防メンテナンスユニット、および自動アラームおよびフェイルセーフシステムが含まれます。また、プラズマ条件の変化に自動的に調整するように設定することもでき、手作業による集中的な調整の必要性を減らすことができます。
まだレビューはありません