中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+ #9236897 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura XE+
ID: 9236897
ウェーハサイズ: 8"
Rapid Thermal Processor (RTP), 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura XE+Reactorは、高性能と高度なデバイスプロセスのカスタマイズを目的とした先進的な半導体製造システムです。マルチプラットフォームプロセスニーズに極めて柔軟性を提供します。これは、拡張されたプロセスと汎用性と費用対効果の高いプラットフォームを組み合わせています。XE+の堅牢な設計により、システムのパフォーマンスが向上し、信頼性の高いプロセス結果が保証されます。AMAT Centura XE+は、トランジスタや相互接続などのマイクロエレクトロニクスデバイスの製造を可能にします。XE+リアクターは、最新のAMAT Centura設計に基づいており、1つのターボポンプ式メタルソーススタックと2つのユニークなミディアムターボポンプを使用しています。メタルソーススタックには、高度なデュアルノズルPVDアセンブリが装備されており、ウェーハ表面の優れた金属均一性を提供します。PVDアセンブリは、最適化されたフィルムジオメトリを使用して、フィーチャーサイズとピッチコントロールを向上させます。中型ターボポンプの採用により、半導体機能のさらなる小型化が可能となり、デバイス技術の拡張性を最大限に高めます。また、XE+リアクタは、高度なウェハスケールのプロセス制御と優れたプロセスの堅牢性のために設計されています。高度なプロセス制御システムは、ツールのパフォーマンスと歩留まりを最大限に高め、さまざまな製品タイプのさまざまなレシピのツール設定を柔軟に調整できます。プラットフォームは、さまざまなサイズやアーキテクチャのデバイスの迅速な製造を可能にします。XE+は、コスト削減を最大化し、最高品質の製品を提供するデバイスの迅速な生産を可能にします。XE+リアクターは、今日の高度な半導体製造に不可欠なツールです。高い柔軟性とカスタマイズ性、優れたウェハスケールのプロセス制御、優れたプロセス堅牢性、優れた機能サイズとピッチ制御を提供します。MEMS、 IC、ロジックなど幅広いアプリケーションに最適なソリューションです。XE+は、高度な半導体デバイス製造のための貴重なツールです。
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