中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9315574 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZリアクターは、半導体産業における重要な用途向けに設計された高効率で高性能なプラズマエッチング装置です。この原子炉は、n型とp型の両方のウェーハを同時に処理することができ、最高レベルのデバイス収率とスループットを可能にします。AMAT Centura WxZは、古典的かつ先進的なプラズマエッチング技術を統合し、幅広いエッチングエッチング剤の正確なタイミングと用量を正確に制御するデュアルゾーンリアクターです。このシステムには、密閉されたRFチャンバーが装備されており、プラズマ環境を正確に制御し、ウェハが均一で一貫したエッチング条件にさらされるようにします。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、可変ガス噴射ユニットを備えており、エチャントガス流量を正確に制御できます。これにより、エッチング速度、選択性、イオンエネルギーを正確に制御し、エッチプロセスの均一性と再現性を最適化することができます。このマシンは、最適なプロセス性能を確保するために、Ar、 CF4、 HCl、 O2、 SF6などの幅広いガスを使用するように構成することができます。Centura WxZは、汚染を最小限に抑え、エッチングチャンバーの再現性を向上させる洗練された真空ツールも備えています。真空アセットは、粒子の汚染を最小限に抑え、ウェーハ損傷のリスクを最小限に抑えるように設計されています。また、新たな静電チャック設計により、ウェーハの強固で均一なクランプを実現し、エッチングの均一性と歩留まりを正確に制御します。最後に、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、拡張されたさまざまな自動化およびプロセス制御機能を備えており、プラズマエッチングプロセスを最適化するための包括的なプラットフォームを提供します。このプラットフォームには、ユーザーフレンドリーなグラフィカルユーザーインターフェイス、リアルタイムプロセス監視および診断機能、および事前に定義されたエッチプロセスの包括的なライブラリが含まれています。全体として、AMAT Centura WxZは汎用性と高効率のプラズマエッチングリアクターであり、半導体産業における重要なエッチングプロセスに優れた結果をもたらすことができます。従来のプラズマエッチング技術と高度なプラズマエッチング技術を組み合わせることで、同一のエッチング特性を実現し、最高レベルのデバイス歩留まりとスループットを確保します。自動化とプロセス制御機能の包括的なセットで、アプライドマテリアルズCentura WxZは、優れたエッチング結果を求める人に最適です。