中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9273065 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、パワー/ロジック/SRAM埋め込みメモリデバイス製造用に設計された先進的な酸化物リアクタシステムです。このリアクターは、初期のウェハ洗浄、成膜（SiO2など）、埋め込みから片面ウェハプロセスを提供するために使用されます。統合された輸送システムを利用して、AMAT Centura WxZは1つのチャンバ内で複数のプロセスを実行したり、複数のチャンバを統合するためにチャンバ間でウェーハを移動したりできます。この効率的なシステムは、非常に低い蒸着温度で超薄い酸化物の層を生成することができます。アプライドマテリアルズCentura WxZのFaraday Magnetron Sputterは、ウェーハ表面全体に均一なプロセスを提供し、非常に精度の高い30nm幅の構造を作成することが可能です。Centura WxZのモジュラー設計により、ユーザーは一貫したプロセスを維持しながら、リアクタを個々のニーズに合わせてカスタマイズできます。モジュラーコンポーネントを利用することで、金属蒸着や原子層蒸着などの追加工程と柔軟に統合できます。その他のユニークな機能には、高スループット、低温処理、高速プロセス時間、高度な制御およびデータ収集システムなどがあります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、お客様が特定のアプリケーションに応じてさまざまなプロセスオプションを使用できるようにします。これらには、洗浄、熱酸化、酸化および窒化アニール、急速な熱アニールシステム、ポストインプラントアニール、およびポストクリーニングプロセスが含まれます。AMAT Centura WxZには、使いやすいユーザーインターフェイスとリアルタイムプログラマブルデータへのアクセスを提供する高度な制御パッケージも付属しています。このデータは、プロセス条件を最適化し、プロセスの一貫性を維持するために使用できます。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、省スペース環境で優れた性能を提供する業界をリードする汎用性の高い原子炉です。高い生産性、正確な温度制御、優れた信頼性を兼ね備え、高い歩留まりと所有コストの削減を実現します。Centura WxZの効率と柔軟性の向上により、デバイスメーカーは集積回路を最高歩留まりで生産できるようになりました。