中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9251453 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、薄膜成膜用の化学蒸着炉です。AMAT Centura WxZは、薄膜の成長を左右するパラメータを高度に制御するため、さまざまな基板上で薄膜の成膜を行うことができます。複数のメガクラスター源を備えており、材料の気化を可能にし、基板上の材料の共存をもたらします。温度ゾーンは50〜1000°Cの範囲で、モノクロメータは表面コーティングのための強化されたスペクトル制御を提供します。このシステムはまた、塩素、ワックス、窒素などの高圧処理ガスを大量に供給することができる高流量ガス処理システムを備えています。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは非常に汎用性の高い薄膜成膜ツールで、金属や有機薄膜から高k誘電体、高度なフィルムスタックまで、さまざまな用途に最適です。工具部品には、上下電極、中央RFソース、上下方向キット、上下チャンバー、サポートスタンドが含まれます。このチャンバーは、溶接可能な開口部と複数の水晶ビューポートを提供し、堆積プロセスまたは基板チャンバを検査します。マルチネットワークコンピュータと自動システムを搭載しており、基板位置、室温、不活性な雰囲気を制御できます。Centura WxZには、熱監視を使用して適切な基板位置、均一なプロセス、および迅速な納期を確保する高度なプロセス制御システムも含まれています。フォトリソグラフィ、イオンミリング、エッチング、熱乾燥など、後処理のための幅広いオプションを提供しています。さらに、このツールは研究開発や生産プロセスのスケールアップにも使用できます。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、研究開発、ウェーハおよび基板薄膜成膜、およびその他の高度な後処理アプリケーション向けの信頼性と汎用性の高い薄膜成膜ツールです。高度な機能とパラメーター制御を備えたユーザーフレンドリーな環境を提供し、研究者は高品質で信頼性の高い結果を得ることができます。