中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9198276 を販売中

AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ
ID: 9198276
ウェーハサイズ: 6"
WCVD system, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactorは、材料研究者やイノベーターが高度なコーティングと超純薄膜を製造できるように設計された高性能な蒸着システムです。AMAT Centura WxZ原子炉には、独自のプラズマ強化化学蒸着(PECVD)プロセスがあり、1回の実行で複数の堆積層を可能にします。このプロセスは、反応性ガス、プラズマ、熱の混合物を使用して、さまざまな金属、絶縁材料、および化学化合物の薄膜を基板上に堆積させます。このプロセスは、基板を損傷することなく、既存の材料に材料を堆積させるためにも使用できます。また、高解像度の蒸着マッピングシステムを搭載し、薄膜の正確な位置と蒸着を可能にしています。マッピングシステムは、堆積プロセスを簡素化し、基板全体にわたって最高レベルの均一性を保証します。アプライドマテリアルズCentura WxZリアクターは、Si、 Ge、およびIII-V化合物半導体を含む様々な基板上のエピタキシャルフィルムおよびスーパーラットの成長に最適化されています。また、膜厚、組成、形態の優れた均一性を提供します。また、膜厚の均一性により、多層層、異構造、ナノ構造の成膜に適しています。この原子炉には、薄膜厚の特性評価、表面トポグラフィ特性評価、スペクトル楕円測定、透過電子顕微鏡などの高分解能測定システムが装備されています。測定システムは、最良の成長最適化とプロセス制御のためのフィルム特性に関する詳細な情報を提供します。Centura WxZ Reactorは、自動カセット積載システム、自動流体システム、現場洗浄システム、熱制御システムなど、幅広い補助装置を提供しています。この補助装置により、ウェーハの効率的な操作と最適化された処理が可能になります。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZ Reactorは信頼性が高く使いやすいため、研究者やイノベーターは、高い蒸着率と優れた均一性を備えた望ましい薄膜をすばやく得ることができます。最新の技術を活用することで、優れた特性と効率を備えた優れたフィルムを提供します。
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