中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9174489 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZシリーズリアクターは、半導体製造プロセスに使用される高性能エッチング装置です。WxZリアクターは、プラズマ技術を活用して基板材料の損傷を最小限に抑え、高速で精密なエッチングを実現する先進的なエッチングシステムです。AMAT Centura WxZは、6インチから32。5インチまでのサイズのウェーハを処理するように設計されています。高電流イオンビームエッチング、リアクティブイオンエッチング（RIE）、 RPCVD、 SPCVD、 PECVDなど、さまざまなプロセスモジュールを備えています。応用材料Centura WxZリアクターは、回転電極を持つチャンバーで構成されています。ウェーハ表面へのエッチングや各種材料の埋め込みなど、高スループット処理が可能です。また、余白の過剰エッチングを排除し、最終製品の「エッジ効果」を排除する非常に均一なエッチプロファイルを提供することができます。このマシンは、高度なオートメーションパッケージも提供しています。このパッケージには、ガスコンソール、統合ウェハ転送ロボット、およびプラズマ強化化学蒸着（ECD）ツールが含まれています。このオートメーションパッケージは、クロスコンタミネーションを最小限に抑え、プロセス間のバリエーションを削減し、資産管理を向上させるように設計されています。Centura WxZは、シリコン、ゲルマニウム、ヒ素ガリウム、各種誘電材料など、さまざまな材料の高品質エッチングを実現することができます。高度なソフトウェアインターフェイスにより制御され、プロセス圧力、フロー、エッチング速度、基板温度などのパラメータを簡単に調整できます。AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、高度な安全モデルも備えています。この装置は、チャンバーの汚染を防ぎ、温度と圧力の調節を提供するように設計されています。安全システムはまた、プロセスヒーター、圧電結晶、およびプラズマの完全性を監視します。また、消費電力を監視し、エネルギー消費を最適化するのに役立ちます。AMAT Centura WxZリアクターは、さまざまな用途に幅広い半導体材料の信頼性、高速、正確なエッチングを提供します。高度なオートメーションパッケージ、高性能エッチングユニット、安全機械により、精密エッチングに最適です。