中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #9116842 を販売中

ID: 9116842
CVD System.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxZは、半導体デバイスの製造から先端材料加工まで、さまざまな用途に対応する高性能、低コストのリアクターです。AMAT Centura WxZはユニークなデザインの製作ツールです。30mm〜300mmの中型原子炉で、全自動の熱制御装置を使用して、幅広い加工の柔軟性を提供します。原子炉には、安定した均一な温度と高速冷却のための高効率の冷却システムを確保するために、いくつかのデュアルラジアル発熱体が装備されています。作動中、プラズマは点火され、その後、ガス損失を最小限に抑えるために単一のチャンバー構成内で監視されます。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、高度なソフトウェアコントロールプロセスオートメーションユニットを備えています。このマシンを使用すると、エンジニアは簡単にカスタムレシピテンプレートを構成しながら、同時にプロセスのトラブルシューティングと最適化を可能にするデータを収集できます。デュアルマグネトロンソースは、材料を同時に沈殿させエッチングすることで、効率を向上させ、1つのセルに複数のプロセスを組み合わせることができます。また、窒素やオゾンなど様々なガスとの互換性が高く、多種多様な蒸着・エッチング処理が可能です。また、従来の金属から極薄のナノ材料まで、複数のスパッタリングターゲットをサポートしており、材料科学やナノコンポジットの開発に非常に適しています。Centura WxZは、さまざまなアプリケーションに対応する信頼性が高く、費用対効果の高い原子炉であり、効率的なパフォーマンスとプロセス能力の向上を実現します。高度な監査ツールと優れた熱均一性により、エンジニアは迅速かつ費用対効果の高い反復可能な結果を達成することができます。
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