中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxZ #293749330 を販売中

アプライドマテリアルズ（APPLIED MATERIALS） Centura WxZは、ディープリアクティブイオンエッチング（DRIE）技術を利用した惑星型シングルウェーハ均一エッチャーリアクターです。このタイプのエッチャーリアクターは、単一のウエハ上の薄膜層に小さな特徴をディープエッチングするために設計されています。プラズマ強化化学蒸着プロセスにフッ素系ガスと塩素系ガスを使用し、材料の基質構造を大幅に変更することなく、さまざまな材料の基板上に高アスペクト比プロファイルを作成します。Centura WxZは、基板を高スループットでエッチングすることができ、処理時間を短縮できる優れた結果を実現します。この原子炉には、幅広い構成可能なカセットサイズが装備されており、複数のウェーハやプラットフォームとの互換性、安全性と製品歩留まり保護の向上が可能です。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、プロセスに不可欠なコンポーネントへのアクセスを簡素化し、ウェーハ全体のエッチングに要する時間を大幅に短縮する画期的な設計を備えています。構成可能な設計により、既存のAPPLIED MATERIALSシステムと容易に統合でき、プラットフォーム間でのシステムデータの迅速なアップグレードと共有を可能にします。Centura WxZには、優れたエッチング結果をもたらすさまざまな革新的な技術が組み込まれています。Self-Aligned Sidewall Shrinkという特殊な機能を使用して均一なエッチングを行うことができます。この機能は、均一なエッチプロファイルで完璧なサイドウォールを提供します。この原子炉はまた、エッチング面の正確な分離と最小エッジバイアス公差をもたらす方向シャワーヘッドコレクタを備えています。APPLIED MATERIALTS Centura WxZは、基板の初期構造および電気特性を維持または強化する均一なエッチング工程に最適なツールです。Centura WxZは、高いスループットレートと均一なエッチングを使用することにより、汎用性が高く、さまざまなシングルウェーハプロセスの要件を満たすことができます。原子炉に組み込まれた高度な設計と革新的な技術は、安全性と製品歩留まり保護の強化を提供します。