中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura WxP #9121263 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura WxPは、高度なIC製造市場向けに大量のプロセスソリューションを提供するように設計されたシングルウェーハ生産炉です。WxPリアクタは、バレルのみ、ウェットのみ、フレキシブルの3つの構成で使用できます。各構成は、高度な半導体生産プロセスのニーズを満たすことができる高性能で構成可能なプラットフォームです。この原子炉は、CMP、 ASAT、ギャップ充填、電気化学蒸着、エッチング、PVD蒸着などの柔軟な技術を提供するために構築されています。高度なプロセス変動管理（PVM）モジュールを提供し、生産中のプロセス状況の監視、予測、最適化を可能にします。リアクタインターフェイスのカスタマイズ可能な設計により、プロセスを最適化するために、プロセスエンジニアはパラメーターをすばやく調整して実験することができます。WxPリアクターには、低圧化学蒸着（LPCVD）システムが搭載されており、ポリシリコン、シリコン酸化物、低k誘電体材料の高品質な蒸着が可能です。また、タングステン蒸着に使用される電気化学蒸着（ECD）システム、ならびに再分配および裏面充填アプリケーションにも使用されます。WxPリアクターは、高度なロボティクスとサイジングシステムを備えており、正確な配置と正確なバルク材料処理を保証します。さらに、原子炉は、運転中の最適な安全性を確保するために、エアロック、耐圧シート、過圧警報などのいくつかの安全機能を備えています。WxPリアクターは、正確さと性能を確保しながら、そのマルチプロセス能力で高い生産性を提供します。ウェーハとダイレベルアライメントの両方を可能にする高度な動きとウェーハハンドリング技術で構築されています。また、欠陥を検出し、プロセスのパフォーマンスに関するフィードバックを提供するパフォーマンス測定および検査ツールと統合されています。全体として、AMAT Centura WxPは、高品質の結果と半導体生産のスループット向上を提供するように設計された先進的な原子炉です。構成可能な設計とカスタマイズ可能なモジュールにより、エンジニアはリアクタの設定をさまざまなプロセス要件に適合させることができますが、高度な安全機能により安全な作業環境が確保されます。