中古 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Ultima+ #9230338 を販売中

AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima+は、薄膜蒸着に使用される高度なプラズマ強化化学蒸着（PECVD）原子炉です。この装置は、高度な二重周波数のNovellus Generation4プラズマ源を利用して、蒸着温度を正確に制御し、厚さ0。3umまでの均一な層を堆積させることができます。また、誘電体半導体と導電性金属を処理して、低k誘電体インターコネクトまたは金属接触障壁を作成することもできます。AMAT Centura Ultima+は、独自のデュアルゾーン誘導コイル設計を採用し、75 MHzおよび13。56 MHzのRFソースに電力を供給します。これにより、画層の均一性とスループットが向上し、より高い歩留まりとより良い歩留まり制御が可能になります。そのマルチローブ磁気駆動RFコイルは、より高い温度と層の均一性のためにチャンバー全体のプラズマの優れた複製を提供し、基板への材料のより良い転送を可能にします。このシステムは、独自のNovellus ScrubおよびDrytube技術を使用して、高品質で欠陥のない薄膜蒸着を保証します。スクラブ工程では、複数の低圧窒素チューブのカスケーディングアレイを使用して、次の工程ステップの前に基板表面からすべてのプラズマ副生成物および汚染物質を除去します。drytube技術により、プロセスガスと基板温度が一貫しているため、高品質の堆積物が保証されます。APPLIED MATERIALS Centura Ultima+には、エンドステーションモジュールが統合されており、レシピ作成、プログラム可能な計測、および最大限のプロセス最適化のための調整可能なユーザーインターフェースオプションが可能です。先進的なマテリアルハンドリングユニットにより、原子炉室内を中断することなく連続的に移動・回転することができ、高スループット生産が可能です。高度な蒸着技術に加えて、Centura Ultima+リアクターには高解像度のイメージングマシンが搭載されているため、プロセスの正確でわかりやすいリアルタイム画像が得られます。このツールはまた、プロセスの最適化をサポートし、プロセスのパフォーマンスを直接監視して洞察するための強力なツールを提供します。全体として、AMAT/APPLIED MATERIALS Centura Ultima+プラズマ強化化学蒸着炉は、さまざまなデバイス用途に高品質で均一な薄膜層を製造するための高度な技術を提供します。高度な成膜およびマテリアルハンドリング技術と統合されたユーザーインターフェイス、イメージング、および計測機能は、高品質の薄膜層のハイスループット生産に理想的な資産を提供します。